- [吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子：半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry解析[ 2025-03-26 16:10 ]
- 在半導(dǎo)體制造工藝中，化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是實(shí)現(xiàn)晶圓表面全局平坦化的核心步驟，而拋光液（Slurry）的性能直接影響芯片的良率和可靠性。隨著制程節(jié)點(diǎn)不斷微縮至5nm、3nm甚至更先進(jìn)工藝，對(duì)CMP拋光液的化學(xué)穩(wěn)定性、材料選擇性和缺陷控制提出了更高要求。作為CMP材料解決方案提供商，吉致電子持續(xù)優(yōu)化拋光液技術(shù)，助力客戶突破先進(jìn)制程瓶頸。1. 基本組成與功能CMP拋光液由磨料顆粒、化學(xué)添加劑和超純水組成，通過(guò)化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同作用實(shí)現(xiàn)晶圓表面納米級(jí)平坦化。磨料顆粒：SiO?（二氧化硅）：廣泛用于氧化物拋光，具有高
-
http://jeffvon.com/Article/jzdzbdtcmp_1.html
- [行業(yè)資訊]半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry：精密制造的核心材料[ 2025-03-19 10:48 ]
- 在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry是一種不可或缺的關(guān)鍵材料，廣泛應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械拋光CMP工藝中。它通過(guò)獨(dú)特的機(jī)械研磨與化學(xué)反應(yīng)相結(jié)合的方式，幫助實(shí)現(xiàn)晶圓表面的納米級(jí)平坦化，為高性能半導(dǎo)體器件的制造提供了重要保障。什么是半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry？ 半導(dǎo)體Slurry是一種由研磨顆粒、化學(xué)添加劑和液體介質(zhì)組成的精密材料。在CMP工藝中
-
http://jeffvon.com/Article/bdtcmppgys_1.html
相關(guān)搜索
- 無(wú)相關(guān)搜索
吉致熱門(mén)資訊
-
吉致電子CMP精拋墊的作用有哪些 -
喜迎“六一”歡度“端午”----吉致電子員工團(tuán)建活動(dòng)
-
吉致電子---氧化硅拋光液的特點(diǎn)和作用
-
氧化硅拋光液的結(jié)晶問(wèn)題
-
鏡面拋光液---氧化硅拋光液在拋光中的作用
-
什么是金剛石研磨液
-
吉致電子納米氧化硅拋光液的特點(diǎn)
-
吉致電子CMP拋光液適用設(shè)備有哪些？
-
納米拋光液---納米氧化鋁拋光液
-
相聚吉致 歡度中秋---2022年吉致電子科技中秋團(tuán)建活動(dòng)
-
吉致電子 射頻濾波器拋光液slurry廠家
-
吉致電子CMP不銹鋼拋光液的特點(diǎn)
-
吉致電子淺槽隔離拋光液怎么用
-
不銹鋼拋光液的CMP鏡面拋光
-
吉致電子--不銹鋼工件的研磨拋光工序
-
吉致電子Slurry拋光漿料--阻擋層拋光液
-
硅溶膠研磨液--精密工件鏡面拋光效果秘密
-
2023吉致電子春節(jié)放假通知
-
吉致電子常見(jiàn)的CMP研磨液
-
CMP拋光液---納米氧化鈰拋光液的優(yōu)點(diǎn)
