射頻濾波器發(fā)展至今，基本主要有兩種構(gòu)型，其中，一類是SAW濾波器（聲表面波，Surface Acoustic Wave），另一類是BAW濾波器（體聲波，Bulk Acoustic Wave），而BAW濾波器又可細(xì)分為SMR（固態(tài)裝配諧振器,Solidly Mounted Resonator）和FBAR（薄膜腔諧振器,Film Bulk Acoustic Resonator）4-6。目前市場(chǎng)主流的濾波器是SAW（聲表面波濾波器）、BAW（體聲波濾波器）和FBAR（薄膜腔聲諧振濾波器）。半導(dǎo)體拋光液、射頻濾波器拋光液是其中一道工藝流程。

  隨著5G通信技術(shù)革新浪潮興起，對(duì)于國(guó)內(nèi)射頻濾波器公司而言，發(fā)展濾波器技術(shù)順?biāo)浦?，具備充分的?shì)能，后續(xù)有望慢慢打破國(guó)外壟斷，發(fā)展出自己的專利技術(shù)。

  在射頻濾波器中有道“拋光”流程，需要用到CMP拋光技術(shù)，其中的耗材如拋光液、拋光墊等，需要從國(guó)外采購(gòu)。隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體事業(yè)發(fā)展飛速，很多物料遭受國(guó)外卡脖子限制，射頻濾波器拋光液的采購(gòu)過(guò)程艱難，不僅價(jià)格高交期久，國(guó)外廠商故意斷供的風(fēng)險(xiǎn)也是存在的。所以國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)口迫在眉睫，是掙脫束縛的途徑。

  吉致電子25年內(nèi)致力研發(fā)cmp拋光耗材，獲得多項(xiàng)CMP拋光液專利技術(shù)。吉致電子的CMP拋光液無(wú)論是RR、dishing、range等效果都是不錯(cuò)的，對(duì)于si和psg的選擇比也是很好，完美替代CABOT D3586的slurry。已為國(guó)內(nèi)不少射頻濾波器廠家提供拋光液及技術(shù)，累計(jì)了很多優(yōu)質(zhì)的半導(dǎo)體客戶。吉致電子的國(guó)產(chǎn)射頻濾波器拋光液在國(guó)內(nèi)生產(chǎn)銷售，比海外采購(gòu)成本低，且有工程師駐廠指導(dǎo)解決工藝難題更適合中國(guó)的視頻濾波器廠家。

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