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Fujibo拋光墊國(guó)產(chǎn)替代挑戰(zhàn)與吉致電子解決方案
Fujibo(日本富士紡)是知名的拋光墊制造商,其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶顯示器(LCD)、硬盤(HDD)藍(lán)寶石襯底等精密加工領(lǐng)域。Fujibo拋光墊因其高精度拋光、均勻性、耐磨性好等特點(diǎn),長(zhǎng)期以來占據(jù)市場(chǎng)主導(dǎo)地位,但隨著國(guó)內(nèi)技術(shù)的突破和產(chǎn)業(yè)鏈的完善,國(guó)產(chǎn)拋光墊正逐步實(shí)現(xiàn)對(duì)進(jìn)口產(chǎn)品的替代。吉致電子作為國(guó)內(nèi)經(jīng)驗(yàn)豐富的電子行業(yè)CMP拋光材料供應(yīng)商,致力于為客戶提供高性價(jià)比的國(guó)產(chǎn)拋光墊解決方案,助力企業(yè)降本增效,保障供應(yīng)鏈安全。國(guó)產(chǎn)拋光墊替代Fujibo的五大優(yōu)勢(shì)1. 顯著降低成本,提升競(jìng)爭(zhēng)力國(guó)產(chǎn)拋光墊價(jià)格比Fujib
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化學(xué)機(jī)械CMPAl2O3氧化鋁精拋液
吉致電子氧化鋁精拋液(CMP Slurry)采用高純度分級(jí)氧化鋁微粉為原料,經(jīng)特殊表面改性工藝處理,通過科學(xué)配方精密配制而成。具有以下顯著優(yōu)勢(shì):適用于化學(xué)機(jī)械平面研磨工藝CMP場(chǎng)景---鋁合金、不銹鋼、鎢鋼、鑄鐵件等金屬材質(zhì);以及藍(lán)寶石、碳化硅襯底、光學(xué)玻璃、精密陶瓷基板等半導(dǎo)體襯底材料的精密拋光加工。氧化鋁精拋液性能優(yōu)勢(shì)突出:獨(dú)特的抗結(jié)晶配方,確保拋光過程穩(wěn)定對(duì)拋光設(shè)備無(wú)腐蝕,維護(hù)簡(jiǎn)便殘留物易清洗,提高生產(chǎn)效率氧化鋁精拋液效果卓越:創(chuàng)新的化學(xué)機(jī)械協(xié)同作用機(jī)制,顯著提升拋光效率優(yōu)化的表面處理工藝,確保拋光面質(zhì)量達(dá)到
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化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)如何優(yōu)化陶瓷覆銅板平坦化?
陶瓷覆銅板(Ceramic Copper-Clad Laminate,簡(jiǎn)稱陶瓷基覆銅板或DBC/DPC)是一種高性能電子基板材料,廣泛應(yīng)用于高功率、高溫、高頻等苛刻環(huán)境下的電子器件中。它由陶瓷基板和覆銅層通過特殊工藝結(jié)合而成,兼具陶瓷的優(yōu)異性能和金屬銅的導(dǎo)電特性。陶瓷覆銅板CMP研磨液是一種專用于化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)工藝的特殊液體,用于對(duì)陶瓷覆銅板(如DBC、DPC等)表面進(jìn)行高精度平坦化處理。其核心作用是通過化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同效應(yīng),去除銅層和陶
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從襯底到外延片:半導(dǎo)體材料的層級(jí)關(guān)系與作用
半導(dǎo)體襯底(Substrate)和外延片(Epitaxial Wafer)是半導(dǎo)體制造中的兩種關(guān)鍵材料,它們的區(qū)別主要體現(xiàn)在定義、結(jié)構(gòu)、用途和制備工藝上:1. 定義與作用襯底(Substrate)是半導(dǎo)體器件的“基礎(chǔ)載體”,通常為單晶圓片(如硅、碳化硅、藍(lán)寶石等),提供機(jī)械支撐和晶體結(jié)構(gòu)模板。功能:確保后續(xù)外延生長(zhǎng)或器件加工的晶體結(jié)構(gòu)一致性。外延片(Epitaxial Wafer)是在襯底表面通過外延生長(zhǎng)技術(shù)(如氣相外延、分子束外延)沉積的一層單晶薄膜。功能:優(yōu)化電學(xué)性能(如純度、摻雜濃度)
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吉致電子:半導(dǎo)體陶瓷CMP工藝拋光耗材解析
在半導(dǎo)體陶瓷的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝中,吉致電子(JEEZ Electronics)作為國(guó)產(chǎn)CMP耗材供應(yīng)商,其拋光液(Slurry)和拋光墊(Polishing Pad)等產(chǎn)品可應(yīng)用于陶瓷材料的精密平坦化加工。以下是結(jié)合吉致電子的技術(shù)特點(diǎn),半導(dǎo)體陶瓷CMP中的潛在應(yīng)用方案:吉致電子CMP拋光液在半導(dǎo)體陶瓷中的應(yīng)用半導(dǎo)體陶瓷CMP研磨拋光漿料特性與適配性CMP Slurry磨料類型:納米氧化硅(SiO2)漿料:適用于SiC、GaN等硬質(zhì)陶瓷,通過表面氧化反應(yīng)(如SiC + H2O2 → SiO2 +
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CMP阻尼布拋光墊:多材料精密拋光的解決方案
阻尼布拋光墊/精拋墊是CMP工藝中材料納米級(jí)精度的關(guān)鍵保障:在半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝的最后精拋階段,阻尼布拋光墊(CMP精拋墊)扮演著決定晶圓最終表面質(zhì)量的關(guān)鍵角色。這種特殊絲絨狀材料的CMP拋光墊,質(zhì)地細(xì)膩、柔軟,表面多孔呈彈性,使用周期長(zhǎng)。阻尼布拋光墊可對(duì)碳化硅襯底、精密陶瓷、砷化鎵、磷化銦、玻璃硬盤、光學(xué)玻璃、金屬制品、藍(lán)寶石襯底等材質(zhì)或工件進(jìn)行精密終道拋光,在去除納米級(jí)材料的同時(shí),實(shí)現(xiàn)原子級(jí)表面平整度,是先進(jìn)制程芯片制造不可或缺的核心耗材。精拋階段的特殊挑戰(zhàn)與需求與粗拋或中拋階段不同,精拋工藝面臨
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如何解決二氧化硅拋光液結(jié)晶問題?吉致電子CMP拋光專家支招
在半導(dǎo)體、光學(xué)玻璃等精密制造領(lǐng)域,二氧化硅(SiO2)拋光液因其高精度、低損傷的特性被廣泛應(yīng)用。然而,拋光液在存儲(chǔ)或使用過程中可能出現(xiàn)結(jié)晶結(jié)塊現(xiàn)象,輕則影響拋光效果,重則導(dǎo)致工件劃傷甚至報(bào)廢。如何有效避免和解決這一問題?吉致電子憑借多年CMP拋光液研發(fā)經(jīng)驗(yàn),為您提供專業(yè)解決方案!一、結(jié)晶原因分析二氧化硅拋光液以高純度硅粉為原料,通過水解法制備,其膠體粒子在水性環(huán)境中形成穩(wěn)定的離子網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。但若水分流失、溫度波動(dòng)或pH失衡,粒子會(huì)迅速聚集形成硬質(zhì)結(jié)晶。主要誘因包括:存儲(chǔ)不當(dāng)(溫度過高/過低、未密封)拋光液停滯(流動(dòng)不
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先進(jìn)制程下的CMP挑戰(zhàn):無(wú)紡布拋光墊技術(shù)演進(jìn)與實(shí)踐
在化學(xué)機(jī)械平面化(CMP)工藝中,無(wú)紡布拋光墊是一種關(guān)鍵組件,其作用主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:1. 表面平整化•機(jī)械研磨作用:復(fù)合無(wú)紡布拋光墊的纖維結(jié)構(gòu)具有一定的彈性與剛性,能夠承載研磨顆粒(如二氧化硅、氧化鋁等),在壓力下與晶圓表面接觸,通過相對(duì)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)材料的均勻去除。•微觀形貌調(diào)控:墊子的多孔結(jié)構(gòu)和纖維分布有助于分散局部壓力,減少劃傷,促進(jìn)全局平坦化。2. 研磨漿料的輸送與分布•儲(chǔ)存與釋放漿料:無(wú)紡布的多孔特性可吸附并均勻釋放化學(xué)研磨漿料(包含腐蝕性化學(xué)試劑和磨料),確保漿料持續(xù)供給
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碳化硅拋光墊選型指南:4道工序如何匹配CMP解決方案?
在碳化硅襯底的研磨和拋光工藝中,拋光墊的選擇需根據(jù)工序特性(粗磨、精磨、粗拋、精拋)匹配不同性能的拋光墊。以下是關(guān)鍵要點(diǎn)及吉致電子產(chǎn)品的適配方案:碳化硅拋光墊選型要點(diǎn)一、碳化硅襯底粗磨階段需求:高材料去除率、強(qiáng)耐磨性。推薦:高硬度復(fù)合無(wú)紡布拋光墊JZ-1020,壓紋/開槽設(shè)計(jì)增強(qiáng)研磨液流動(dòng)性,避免碎屑堆積。二、碳化硅襯底精磨階段需求:平衡表面平整度與中等去除率。推薦:中硬度拋光墊,特殊纖維結(jié)構(gòu)提升表面一致性,減少亞表面損傷。碳化硅SiC襯底 研磨墊(JZ-1020粗磨/精磨)三、碳化硅襯底粗拋階段需求:過渡到低表面
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Template無(wú)蠟吸附墊在半導(dǎo)體CMP中的應(yīng)用
在硅片拋光(尤其是化學(xué)機(jī)械拋光CMP)工藝中,無(wú)蠟吸附墊(Wax-free Adhesive Pad)相比傳統(tǒng)蠟粘接方式具有顯著優(yōu)勢(shì),主要體現(xiàn)在工藝性能、缺陷控制、生產(chǎn)效率和環(huán)保合規(guī)等方面。吉致電子半導(dǎo)體行業(yè)晶圓、襯底、硅片專用無(wú)蠟吸附墊Template憑借五大核心優(yōu)勢(shì),為半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)帶來革新體驗(yàn)。?①無(wú)蠟吸附墊:消除蠟污染,提升晶圓潔凈度傳統(tǒng)蠟粘接方式固定工件晶圓易造成蠟漬擴(kuò)散、雜質(zhì)吸附,干擾光刻、刻蝕等精密工序。吉致電子無(wú)蠟吸附墊 template 從源頭杜絕蠟質(zhì)污染,為晶圓打造純凈加工環(huán)境,有效降低芯片不良
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吉致電子:鎢CMP拋光液組成與應(yīng)用解析
鎢CMP拋光液:半導(dǎo)體關(guān)鍵制程材料的技術(shù)解析——吉致電子高精度平坦化解決方案1. 產(chǎn)品定義與技術(shù)背景鎢化學(xué)機(jī)械拋光液(Tungsten CMP Slurry)是用于半導(dǎo)體先進(jìn)制程中鎢互連層全局平坦化的專用功能性材料,通過化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同作用,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)表面精度(Ra<0.5nm),滿足高密度集成電路(IC)對(duì)互連結(jié)構(gòu)的苛刻要求。2. 核心組分與作用機(jī)理3. 關(guān)鍵性能指標(biāo)去除速率:200-600 nm/min(可調(diào),適配不同工藝節(jié)點(diǎn))非均勻性(WIWNU):<3% @300mm晶圓選擇
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鉬襯底的應(yīng)用領(lǐng)域及CMP拋光技術(shù)解析
鉬(Mo)襯底憑借其高熔點(diǎn)(2623℃)、高熱導(dǎo)率(138 W/m·K)、低熱膨脹系數(shù)(4.8×10-6/K)以及優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度和耐腐蝕性,在半導(dǎo)體、光學(xué)、新能源、航空航天等高科技領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。吉致電子對(duì)鉬襯底的主要應(yīng)用場(chǎng)景解析其化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)關(guān)鍵技術(shù),幫助行業(yè)客戶更好地選擇和使用鉬襯底拋光液。一、鉬襯底的核心優(yōu)勢(shì)高溫穩(wěn)定性:熔點(diǎn)高達(dá)2623℃,適用于高溫環(huán)境。優(yōu)異的熱管理能力:高熱導(dǎo)率+低熱膨脹系數(shù),減少熱應(yīng)力。高機(jī)械強(qiáng)度:耐磨損、抗蠕變,適合精密器件制造。良好的導(dǎo)電性:適
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先進(jìn)半導(dǎo)體制造中的CMP Slurry:銅/鎢/碳化硅拋光液技術(shù)與國(guó)產(chǎn)化進(jìn)展
化學(xué)機(jī)械平坦化(CMP)工藝是半導(dǎo)體制造中的核心技術(shù),其通過化學(xué)與機(jī)械協(xié)同作用實(shí)現(xiàn)納米級(jí)表面精度,對(duì)集成電路性能至關(guān)重要。以下從技術(shù)、市場(chǎng)及國(guó)產(chǎn)化角度進(jìn)行專業(yè)分析:一、CMP工藝核心要素拋光液(Slurry)化學(xué)組分:氧化劑(如H2O2用于Cu CMP)、磨料(納米SiO2/Al2O3)、pH調(diào)節(jié)劑及緩蝕劑,需針對(duì)材料特性(如Cu/W/SiC)定制配方。關(guān)鍵參數(shù):材料去除率(MRR)、選擇比(Selectivity)、表面粗糙度(Ra<0.5nm)及缺陷控制(如劃痕≤30nm)。吉致電子優(yōu)勢(shì):25年技術(shù)積累可
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吉致電子LED藍(lán)寶石襯底研磨拋光CMP工藝方案
藍(lán)寶石(α-Al2O3)因其高硬度、優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性和良好的光學(xué)性能,成為L(zhǎng)ED芯片制造的主流襯底材料。然而,其高硬度(莫氏硬度9)也使得加工過程極具挑戰(zhàn)性。吉致電子憑借CMP的研磨拋光技術(shù),確保藍(lán)寶石襯底表面達(dá)到納米級(jí)平整度,為高性能LED外延生長(zhǎng)奠定基礎(chǔ)。本文將詳細(xì)介紹藍(lán)寶石襯底的研磨拋光工藝及其技術(shù)優(yōu)勢(shì)。1. 藍(lán)寶石襯底的特性與加工挑戰(zhàn)材料特性:?jiǎn)尉ЫY(jié)構(gòu),高透光率(80%以上),耐高溫、耐腐蝕。加工難點(diǎn):硬度高,傳統(tǒng)機(jī)械加工效率低且易產(chǎn)生損傷。表面要求極高(Ra<0.5nm),否則影響外延層質(zhì)量。晶向(如c面
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吉致電子TSV銅化學(xué)機(jī)械拋光液:助力3D先進(jìn)封裝技術(shù)突破
在半導(dǎo)體技術(shù)飛速發(fā)展的當(dāng)下,TSV(Through-Silicon-Via,硅通孔技術(shù))作為前沿的芯片互連技術(shù),正深刻變革著芯片與芯片、晶圓與晶圓之間的連接方式。它通過在芯片及晶圓間構(gòu)建垂直導(dǎo)通的微孔,并填充銅、鎢等導(dǎo)電材料,實(shí)現(xiàn)了三維堆疊封裝中的垂直電氣互連。作為線鍵合(Wire Bonding)、TAB 和倒裝芯片(FC)之后的第四代封裝技術(shù),TSV 技術(shù)憑借縮短的互聯(lián)長(zhǎng)度,大幅降低信號(hào)延遲與功耗,顯著提升數(shù)據(jù)傳輸速率和集成密度,已然成為高性能計(jì)算、5G 通信、人工智能等前沿領(lǐng)域不可或缺的核心支撐。TSV技術(shù)的
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藍(lán)寶石襯底CMP拋光新視野:氧化鋁與氧化硅的多元應(yīng)用
在藍(lán)寶石襯底的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝中,拋光材料的選擇直接關(guān)系到拋光效果和生產(chǎn)效率。氧化鋁和氧化硅作為兩種常用的拋光磨料,以其獨(dú)特的性能優(yōu)勢(shì),在該領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的作用。吉致電子憑借深厚的行業(yè)積累,為您深入剖析這兩種材料在藍(lán)寶石襯底 CMP 拋光中的特性與應(yīng)用。氧化鋁在拋光中的特性硬度匹配優(yōu)勢(shì)α-氧化鋁的硬度與藍(lán)寶石極為接近,這一特性在拋光過程中具有關(guān)鍵意義。理論上,相近的硬度可能會(huì)增加劃傷藍(lán)寶石表面的風(fēng)險(xiǎn),但在實(shí)際應(yīng)用中,只要確保氧化鋁磨料的顆粒形狀規(guī)則、粒徑分布均勻,就能有效避免劃傷。在拋光壓力作用下,憑
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【國(guó)產(chǎn)替代新選擇】吉致電子IC1000級(jí)拋光墊——打破壟斷,助力中國(guó)“芯”制造!
半導(dǎo)體CMP工藝中,拋光墊是關(guān)鍵耗材,但進(jìn)口品牌長(zhǎng)期占據(jù)市場(chǎng)主導(dǎo)。吉致電子作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體材料供應(yīng)商,成功研發(fā)生產(chǎn)高性能國(guó)產(chǎn)替代IC1000級(jí)拋光墊,以穩(wěn)定、耐用、均勻性好的獲得客戶好評(píng)及推薦,為芯片制造企業(yè)提供更優(yōu)成本與穩(wěn)定供應(yīng)!為什么選擇吉致電子IC1000拋光墊?①媲美國(guó)際大牌——采用高精度聚氨酯材質(zhì)與微孔結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),拋光均勻性、去除率對(duì)標(biāo)進(jìn)口產(chǎn)品,滿足銅、鎢、硅等材料的CMP工藝需求。②成本優(yōu)勢(shì)顯著——國(guó)產(chǎn)化生產(chǎn),減少供應(yīng)鏈依賴,價(jià)格更具競(jìng)爭(zhēng)力,降低企業(yè)綜合
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吉致電子:高穩(wěn)定聚氨酯拋光墊定制專家
吉致電子聚氨酯拋光墊選用優(yōu)質(zhì)基礎(chǔ)材質(zhì),歷經(jīng)多道復(fù)雜且精密的工藝打造。聚氨酯拋光墊具備卓越的高彈性、高耐磨性、高平坦度以及高穩(wěn)定性等特性,專為金屬、光學(xué)玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體芯片等對(duì)表面精度要求極高的精密部件拋光作業(yè)量身定制,能夠充分應(yīng)對(duì)并滿足嚴(yán)苛的工業(yè)級(jí)拋光需求。吉致電子聚氨酯拋光墊的核心優(yōu)勢(shì)①聚氨酯高效拋光性能氧化鈰拋光墊:其工作原理基于氧化鈰微粒與被加工材料表面的化學(xué)機(jī)械作用,可顯著提升材料去除速率,在對(duì)材料去除率有較高要求的場(chǎng)景中,能極大地縮短拋光時(shí)間,提升整體生產(chǎn)效率。氧化鋯拋光墊:氧化鋯材料憑借其獨(dú)特的微觀結(jié)
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芯片拋光液(CMP Slurry):半導(dǎo)體平坦化的核心驅(qū)動(dòng)力
在半導(dǎo)體制造的精密世界里,納米級(jí)別的表面平整度宛如一把精準(zhǔn)的標(biāo)尺,直接主宰著芯片的性能與良率?;瘜W(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝宛如一位技藝精湛的大師,借助化學(xué)與機(jī)械的協(xié)同之力,達(dá)成晶圓表面的全局平坦化。而芯片拋光液(CMP Slurry),無(wú)疑是這一工藝得以順暢運(yùn)行的 “血液”,發(fā)揮著無(wú)可替代的關(guān)鍵作用。吉致電子,作為深耕半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的佼佼者,在此為您深度解析拋光液背后的技術(shù)奧秘,以及洞察其前沿發(fā)展趨勢(shì)。一、芯片拋光液的核心作用在CMP過程中,拋光液肩負(fù)著至關(guān)重要的雙重功能:化學(xué)腐蝕其所含的活性
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氧化鋁懸浮液在化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)中的應(yīng)用與優(yōu)化
化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是半導(dǎo)體制造、光學(xué)玻璃加工和集成電路生產(chǎn)中的關(guān)鍵工藝,而氧化鋁懸浮液因其優(yōu)異的機(jī)械磨削性能和化學(xué)可控性,成為CMP工藝的核心材料之一。吉致電子(JEEZ Electronics)作為CMP半導(dǎo)體精密電子材料供應(yīng)商,致力于為客戶提供高性能的氧化鋁CMP懸浮液解決方案。本文將詳細(xì)介紹氧化鋁CMP懸浮液的關(guān)鍵特性、配方優(yōu)化及行業(yè)應(yīng)用。1. 氧化鋁CMP懸浮液的核心要求在CMP工藝中,氧化鋁懸浮液(氧化鋁研磨液/拋光液)需滿足以下關(guān)鍵指標(biāo),以確保高拋光效率、低表面損傷和長(zhǎng)期穩(wěn)定性:性能指標(biāo)要求顆粒粒徑
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