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陶瓷基板CMP工藝:無蠟吸附墊技術(shù)解析與應(yīng)用優(yōu)勢(shì)
陶瓷基板CMP工藝:無蠟吸附墊技術(shù)解析與應(yīng)用優(yōu)勢(shì)

在半導(dǎo)體、LED、功率電子等領(lǐng)域,陶瓷基板因其優(yōu)異的導(dǎo)熱性、絕緣性和機(jī)械強(qiáng)度被廣泛應(yīng)用。化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是陶瓷基板表面精密加工的關(guān)鍵工藝,而傳統(tǒng)的蠟粘接固定方式存在污染、效率低、平整度受限等問題。無蠟吸附墊技術(shù)作為新一代CMP固定方案,憑借其高精度、環(huán)保性和成本優(yōu)勢(shì),正逐步成為行業(yè)新標(biāo)準(zhǔn)。無蠟吸附墊技術(shù)原理無蠟吸附墊通過非接觸式固定技術(shù)取代傳統(tǒng)蠟粘接,主要采用以下兩種方式:一、真空吸附技術(shù)①采用多孔陶瓷或聚合物材料,通過真空負(fù)壓均勻吸附基板②適用于各類硬脆材料(如Al?O?、AlN、SiC等)③可調(diào)節(jié)吸附力,

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半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry:精密制造的核心材料
半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry:精密制造的核心材料

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry是一種不可或缺的關(guān)鍵材料,廣泛應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械拋光CMP工藝中。它通過獨(dú)特的機(jī)械研磨與化學(xué)反應(yīng)相結(jié)合的方式,幫助實(shí)現(xiàn)晶圓表面的納米級(jí)平坦化,為高性能半導(dǎo)體器件的制造提供了重要保障。什么是半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry? 半導(dǎo)體Slurry是一種由研磨顆粒、化學(xué)添加劑和液體介質(zhì)組成的精密材料。在CMP工藝中

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CMP化學(xué)機(jī)械工藝中金剛石研磨液的關(guān)鍵特性剖析
CMP化學(xué)機(jī)械工藝中金剛石研磨液的關(guān)鍵特性剖析

在現(xiàn)代先進(jìn)制造領(lǐng)域,CMP 化工學(xué)機(jī)械工藝作為實(shí)現(xiàn)材料表面高精度加工的核心技術(shù),發(fā)揮著舉足輕重的作用。該工藝融合了化學(xué)作用與機(jī)械磨削,能夠在原子尺度上對(duì)材料表面進(jìn)行精確修整,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)元件、精密模具等眾多高端產(chǎn)業(yè)。而在 CMP 工藝的復(fù)雜體系中,金剛石拋光液堪稱其中的關(guān)鍵要素,其性能優(yōu)劣直接關(guān)乎最終的拋光質(zhì)量與加工效率。用于 CMP 化工學(xué)機(jī)械工藝的金剛石拋光液,其粒徑大小通常在 10 - 150nm 之間。該拋光液具有以下特點(diǎn):高硬度與強(qiáng)切削力,金剛石是自然界硬度最高的物質(zhì),具有出色的切削能力。在 C

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CMP拋光液:從第一代到第三代半導(dǎo)體材料的精密拋光利器
CMP拋光液:從第一代到第三代半導(dǎo)體材料的精密拋光利器

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展,化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝在集成電路制造中的地位愈發(fā)重要。CMP拋光液作為這一工藝的核心材料,不僅廣泛應(yīng)用于傳統(tǒng)的第一代和第二代半導(dǎo)體材料,如硅(Si)和砷化鎵(GaAs),更在第三代半導(dǎo)體材料的拋光中展現(xiàn)出巨大的潛力。CMP拋光液在第三代半導(dǎo)體材料中的應(yīng)用第三代半導(dǎo)體材料以碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、氧化鋅(ZnO)、金剛石和氮化鋁(AlN)為代表,具有寬禁帶、高導(dǎo)熱率、抗輻射能力強(qiáng)、電子飽和漂移速率大等優(yōu)異特性。這些材料在高溫、高頻、大功率電子器件中表現(xiàn)突出,成為5G基站、新能

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精密制造新標(biāo)桿:吉致電子藍(lán)寶石研磨液技術(shù)解析
精密制造新標(biāo)桿:吉致電子藍(lán)寶石研磨液技術(shù)解析

藍(lán)寶石研磨液Sapphire Slurry,也稱為藍(lán)寶石拋光液,是專為藍(lán)寶石材料精密加工而設(shè)計(jì)的高性能拋光液。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于藍(lán)寶石襯底、外延片、光學(xué)窗口、藍(lán)寶石晶圓(Wafer)的減薄和拋光工藝,能夠滿足高平坦度、高表面質(zhì)量的加工需求。吉致電子藍(lán)寶石拋光液由高純度磨粒、復(fù)合分散劑和分散介質(zhì)精心配制而成,具有以下顯著優(yōu)勢(shì):1.高穩(wěn)定性:懸浮體系穩(wěn)定,不易沉降或結(jié)晶,確保拋光過程的一致性;2.高效拋光:拋光速度快,顯著提升加工效率;3.精密加工:采用納米SiO2粒子作為磨料,可在高效研磨的同時(shí)避免對(duì)工件表面造成物理損傷

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突破技術(shù)壁壘:國產(chǎn)拋光墊替代Suba800的崛起之路
突破技術(shù)壁壘:國產(chǎn)拋光墊替代Suba800的崛起之路

國產(chǎn)替代Suba800拋光墊(CMP Pad)的產(chǎn)品在近年來取得了顯著的技術(shù)進(jìn)步,逐漸在半導(dǎo)體集成電路市場(chǎng)上占據(jù)一席之地。以下是Suba拋光墊國產(chǎn)替代產(chǎn)品的優(yōu)勢(shì)和特點(diǎn):一、Suba拋光墊國產(chǎn)替代產(chǎn)品的優(yōu)勢(shì)1.成本優(yōu)勢(shì)?國產(chǎn)CMP拋光墊的價(jià)格通常比進(jìn)口產(chǎn)品低,能夠顯著降低生產(chǎn)成本,尤其適合對(duì)成本敏感的企業(yè)。?減少了進(jìn)口關(guān)稅和物流費(fèi)用,進(jìn)一步降低了采購成本。2.供應(yīng)鏈穩(wěn)定?國產(chǎn)化生產(chǎn)避免了國際供應(yīng)鏈的不確定性(如貿(mào)易摩擦、物流延遲等),供貨周期更短,響應(yīng)速度更快。?國內(nèi)廠商通常能提供更靈活的CMP拋光耗材訂單服務(wù),支持

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CMP拋光液:精密光學(xué)鏡頭制造的幕后英雄
CMP拋光液:精密光學(xué)鏡頭制造的幕后英雄

CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)技術(shù)在光學(xué)制造領(lǐng)域確實(shí)扮演著至關(guān)重要的角色,尤其是在高精度光學(xué)元件的加工中。CMP拋光液通過化學(xué)腐蝕和機(jī)械研磨的結(jié)合,能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)玻璃表面的超平滑處理,滿足現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)對(duì)表面粗糙度和形狀精度的嚴(yán)苛要求。 吉致電子光學(xué)玻璃CMP Slurry的應(yīng)用領(lǐng)域:①精密光學(xué)鏡頭:在手機(jī)攝像頭、顯微鏡、望遠(yuǎn)鏡等光學(xué)系統(tǒng)中,通過CMP工藝和拋光液的拋磨可使光學(xué)鏡頭元件在光線折射與散射方面得到有效優(yōu)化,成像質(zhì)量大幅提升。確保了鏡頭的高分辨率和成像質(zhì)量。②航空航天光學(xué)窗口:航空航天光學(xué)窗口面臨復(fù)雜空間環(huán)

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無蠟吸附墊:精密制造的卓越之選
無蠟吸附墊:精密制造的卓越之選

無蠟吸附墊的設(shè)計(jì)充分考慮了不同行業(yè)、不同工藝的實(shí)際需求,具有高度的通用性和靈活性。提高吸附穩(wěn)定性,還能起到良好的排屑作用,防止加工過程中產(chǎn)生的碎屑堆積在吸附墊表面,影響加工精度和吸附效果。 以下是吉致電子無蠟吸附墊的介紹:組合式無蠟拋光吸附墊 結(jié)構(gòu):包括基布、吸附結(jié)構(gòu)和粘貼結(jié)構(gòu)。吸附結(jié)構(gòu)由聚氨酯吸附層和環(huán)形氣腔組成,聚氨酯吸附層粘貼在基布上,環(huán)形氣腔設(shè)置在聚氨酯吸附層上,起到吸附固定且揭開時(shí)減少吸附力的作用;粘貼結(jié)構(gòu)包括無殘留雙面膠和離型紙,無殘留雙面膠粘貼在基布上,離型紙粘貼在無殘留雙面膠上 。 優(yōu)點(diǎn):

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碳化硅襯底CMP工藝面臨的挑戰(zhàn)與解決方案
碳化硅襯底CMP工藝面臨的挑戰(zhàn)與解決方案

SiC CMP拋光液是一種用于對(duì)碳化硅襯底進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光的關(guān)鍵材料,通過化學(xué)腐蝕和機(jī)械磨損的協(xié)同作用,實(shí)現(xiàn)碳化硅襯底表面材料的去除及平坦化,從而提高晶圓襯底的表面質(zhì)量,達(dá)到超光滑、無缺陷損傷的狀態(tài),滿足外延應(yīng)用等對(duì)襯底表面質(zhì)量的嚴(yán)苛要求。目前碳化硅襯底CMP工藝面臨的挑戰(zhàn)與解決方案:①碳化硅硬度高:碳化硅硬度僅次于金剛石,這使得其拋光難度較大。需要研發(fā)更高效的磨料和優(yōu)化拋光液配方,以提高對(duì)碳化硅的去除速率。例如,采用高硬度、高活性的磨料,并優(yōu)化磨料的粒徑分布和形狀,同時(shí)調(diào)整化學(xué)試劑的種類和濃度,增強(qiáng)

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半導(dǎo)體CMP--碳化硅襯底無蠟吸附墊的特點(diǎn)
半導(dǎo)體CMP--碳化硅襯底無蠟吸附墊的特點(diǎn)

碳化硅SiC襯底在CMP研磨拋光工藝中使用吉致無蠟吸附墊的好處主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:①穩(wěn)定性與吸附力真空吸附原理優(yōu)勢(shì):利用真空吸附,可在吸附墊與襯底間形成強(qiáng)大負(fù)壓,使襯底與吸附墊緊密貼合。如在化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)中,能讓晶圓襯底在高速旋轉(zhuǎn)和研磨壓力下保持原位,避免位移和晃動(dòng),確保拋光均勻性。②降低破片率:吉致電子半導(dǎo)體無蠟吸附墊強(qiáng)而穩(wěn)定的吸附力可均勻分散外力,防止局部受力過大。在超薄晶圓或大尺寸晶圓拋光時(shí),能有效避免因吸附不穩(wěn)導(dǎo)致的晶圓破裂,提高生產(chǎn)效益。③簡(jiǎn)化工藝流程無需除蠟環(huán)節(jié):傳統(tǒng)吸附墊常需涂蠟輔助吸附,

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吉致電子SiC碳化硅研磨墊國產(chǎn)替代
吉致電子SiC碳化硅研磨墊國產(chǎn)替代

  在碳化硅拋光墊/研磨墊(SiC CMP Pad)市場(chǎng)中,高端領(lǐng)域呈現(xiàn)出寡頭壟斷的格局。其中,杜邦Suba800系列產(chǎn)品被廣泛采用,同時(shí)也有部分客戶選擇杜邦的Suba600和Suba400系列,以及Supreme Series和Politex系列等產(chǎn)品。此外,日本廠商Fujibo也在市場(chǎng)中扮演著關(guān)鍵角色,其主打產(chǎn)品包括G804W、728NX和FPK66等型號(hào)。  在競(jìng)爭(zhēng)激烈的半導(dǎo)體集成電路市場(chǎng)中,除了上述提到的幾款CMP拋光墊產(chǎn)品外,國內(nèi)一些新興企業(yè)也在不斷研發(fā)創(chuàng)新,試圖打破現(xiàn)有的市場(chǎng)格局,為

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吉致電子---碲鋅鎘襯底用什么拋光液?
吉致電子---碲鋅鎘襯底用什么拋光液?

  碲鋅鎘晶體是一種具有優(yōu)異光電性能的半導(dǎo)體材料,其化學(xué)式為CdZnTe,也被稱為CZT。這種材料在核輻射探測(cè)器、X射線和伽馬射線探測(cè)器以及紅外探測(cè)器等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。由于其高電阻率、高原子序數(shù)和良好的能量分辨率,碲鋅鎘晶體特別適合用于高分辨率的放射線成像設(shè)備。此外,它還具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和機(jī)械加工性能,使其在制造過程中易于加工成各種形狀和尺寸。那么碲鋅鎘襯底用什么拋光液進(jìn)行CMP加工呢?   碲鋅鎘CMP研磨拋光一般采用化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Pl

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吉致電子CMP拋光墊:從粗到精,體驗(yàn)高效拋光
吉致電子CMP拋光墊:從粗到精,體驗(yàn)高效拋光

  CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)拋光墊是一種在半導(dǎo)體制造過程中用于平面化晶圓表面的關(guān)鍵材料。CMP拋光墊通過結(jié)合化學(xué)反應(yīng)和機(jī)械研磨的方式,能夠有效地去除晶圓表面的多余材料,從而達(dá)到高度平整的表面質(zhì)量。拋光墊CMP PAD通常由高分子聚合物材料制成,表面具有一定的微孔結(jié)構(gòu),以便在拋光過程中儲(chǔ)存和釋放拋光液CMP Slurry,從而確保拋光過程的均勻性和效率。  CMP拋光墊在使用過程中需要定期更換,以保持其最佳的拋光性能。不同的CMP拋光墊適用于不同的拋光工藝和材料,因此選擇合適的拋光墊對(duì)于確保晶圓質(zhì)量

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金剛石懸浮液在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用
金剛石懸浮液在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用

    金剛石懸浮液(CMP研磨液)在半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用:適用于半導(dǎo)體晶圓拋光液CMP加工,藍(lán)寶石襯底、碳化硅晶圓、氮化鎵、磷化銦等半導(dǎo)體晶片。    金剛石懸浮液在半導(dǎo)體晶圓的CMP研磨拋光中發(fā)揮著重要作用。以藍(lán)寶石襯底為例,藍(lán)寶石材質(zhì)硬度較高,傳統(tǒng)的研磨液難以達(dá)到理想的拋光效果,而金剛石懸浮液因其高硬度、高韌性的金剛石顆粒,能夠快速去除藍(lán)寶石襯底表面的材料,同時(shí)保證加工表面的光潔度。對(duì)于碳化硅SiC和氮化鎵、磷化銦等半導(dǎo)體晶片,金剛石懸浮液同樣表

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吉致電子---Si硅片拋光液,為半導(dǎo)體護(hù)航
吉致電子---Si硅片拋光液,為半導(dǎo)體護(hù)航

  半導(dǎo)體硅片拋光液是一種均勻分散膠粒的乳白色膠體,在半導(dǎo)體材料的CMP加工過程中起著至關(guān)重要的作用。其外觀通常為乳白色或微藍(lán)色透明溶液。半導(dǎo)體硅片Si拋光液主要有拋光、潤滑、冷卻等作用。在拋光方面,Si Slurry能夠有效地去除半導(dǎo)體硅晶圓表面的雜質(zhì)和凸起,使硅片表面更加光滑平整。例如,經(jīng)過拋光液處理后,晶片表面的微粗糙度可以達(dá)到 0.2nm 以下。在潤滑作用中,它可以減少硅片與拋光設(shè)備之間的摩擦,降低磨損,延長設(shè)備的使用壽命。同時(shí),在拋光過程中會(huì)產(chǎn)生熱量,而拋光液的冷卻作用可以及時(shí)帶走熱量,防止硅片

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半導(dǎo)體芯片研磨液與CMP工藝:鑄就芯片制造的基石
半導(dǎo)體芯片研磨液與CMP工藝:鑄就芯片制造的基石

  CMP工藝在芯片制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)  在蓬勃發(fā)展的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,芯片制造如同一場(chǎng)精細(xì)的藝術(shù)創(chuàng)作,而半導(dǎo)體芯片研磨與CMP工藝則是其中重要的環(huán)節(jié)。芯片制造是一個(gè)高度復(fù)雜的過程,涉及多個(gè)步驟,CMP工藝在這個(gè)過程中起著不可或缺的作用。  隨著芯片制程不斷縮小,對(duì)晶圓表面平整度的要求越來越高。如果晶圓表面不平整,在后續(xù)的光刻、刻蝕等工藝中,就會(huì)出現(xiàn)對(duì)焦精度不準(zhǔn)確、線寬控制不穩(wěn)定等問題,嚴(yán)重影響芯片的性能和質(zhì)量。例如,當(dāng)制造層數(shù)增加時(shí),如果晶圓表面不平整,可能導(dǎo)致金屬薄膜厚度不均進(jìn)而影響電阻值

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電子3C行業(yè)的好幫手---蘋果logo研磨液
電子3C行業(yè)的好幫手---蘋果logo研磨液

 客戶經(jīng)常會(huì)問macbook鋁合金外面蘋果logo是怎么加工的?蘋果的背面Logo鏡面是怎么做的?蘋果logo拋光? 蘋果產(chǎn)品一直以其精湛的工藝和卓越的設(shè)計(jì)而備受矚目,其中蘋果logo的研磨工藝更是在整個(gè)產(chǎn)品中起到了至關(guān)重要的作用。  蘋果logo采用了CMP化學(xué)機(jī)械平面拋光工藝,這一工藝借助CMP設(shè)備、研磨液 / 拋光液和拋光墊的共同作用,能夠使金屬工件表面達(dá)到鏡面效果,極大地提升了Apple logo的質(zhì)感。在蘋果的筆記本電腦和手機(jī)上,閃閃發(fā)光的Apple Logo常常讓人驚艷不已

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解鎖高效,硬質(zhì)合金CMP拋光液來襲
解鎖高效,硬質(zhì)合金CMP拋光液來襲

   硬質(zhì)合金是由難熔金屬的硬質(zhì)化合物和粘結(jié)金屬通過粉末冶金工藝制成的一種合金材料。它具有硬度高、耐磨、強(qiáng)度和韌性較好、耐熱、耐腐蝕等一系列優(yōu)良性能,被譽(yù)為“工業(yè)牙齒”,廣泛用于切削工具、刀具、鈷具和耐磨零部件,在軍工、航天航空、機(jī)械加工、冶金、石油鉆井、礦山工具、電子通訊、建筑等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。常用硬質(zhì)合金按成分和性能特點(diǎn)分為三類:鎢鈷類、鎢鈦鈷類、鎢鈦鉭(鈮)類,每種都有其適用的領(lǐng)域和優(yōu)勢(shì)。硬質(zhì)合金平面件,如鎢鋼、鎢合金材質(zhì)等使用CMP拋光液和CMP研磨工藝能達(dá)到

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吉致電子---磷化銦InP晶圓拋光液的市場(chǎng)現(xiàn)狀
吉致電子---磷化銦InP晶圓拋光液的市場(chǎng)現(xiàn)狀

  目前,全球磷化銦(InP)晶圓市場(chǎng)的cmp拋光耗材主要由少數(shù)國外廠商主導(dǎo)。這些國外廠商憑借先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),在產(chǎn)品質(zhì)量和性能方面具有顯著優(yōu)勢(shì)。例如Fujimi Incorporated、Ferro (UWiZ Technology) 等企業(yè)在全球半導(dǎo)體slurry拋光液市場(chǎng)中具有較高的知名度和占有率。  相比之下,國內(nèi)企業(yè)的磷化銦(InP)晶圓拋光液研發(fā)起步較晚,但近年來隨著國內(nèi)半導(dǎo)體的快速發(fā)展,國產(chǎn)cmp拋光耗材也大量進(jìn)入市場(chǎng),國內(nèi)廠家也在不斷加大研發(fā)投入,努力提升拋光液、拋光墊產(chǎn)品

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杜邦I(lǐng)C1000拋光墊的特點(diǎn)及國產(chǎn)替代
杜邦I(lǐng)C1000拋光墊的特點(diǎn)及國產(chǎn)替代

  在半導(dǎo)體晶圓及芯片的制造過程中,CMP是實(shí)現(xiàn)晶圓表面全局平坦化的關(guān)鍵工藝,而IC1000作為一種高性能的拋光墊,為 CMP工藝的順利進(jìn)行提供了有力保障。  杜邦I(lǐng)C1000系列拋光墊能夠存儲(chǔ)和輸送CMP拋光液至拋光區(qū)域,通過slurry的流動(dòng)和分布使拋光工作持續(xù)均勻地進(jìn)行。在化學(xué)機(jī)械拋光過程中,拋光液中的化學(xué)成分與晶圓表面材料產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),生成較易去除的物質(zhì),而dupont IC1000 Pad為這一化學(xué)反應(yīng)提供了穩(wěn)定的場(chǎng)所。同時(shí),IC1000拋光墊能夠去除拋光過程中產(chǎn)生的副產(chǎn)品,如氧化產(chǎn)物

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