- [常見問題]吉致電子硅溶膠拋光液的適用范圍[
2022-08-19 15:44
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硅溶膠拋光液又稱氧化硅拋光液,通過離子交換法和水解法制備不同粒徑的穩(wěn)定硅溶膠,經(jīng)過鈍化添加化學助劑和特殊工藝配制成的二氧化硅拋光漿料,廣泛應用于集成電路半導體、特殊材料、金屬工件、脆硬鏡面的拋光。吉致電子25年CMP拋光液生產(chǎn)廠家,可根據(jù)客戶不同工藝要求定制調(diào)整拋光漿料。氧化硅拋光液主要適用范圍:1.可用于玻璃陶瓷的表面拋光。2.用于硅片和IC加工的粗拋和精拋,適用于大規(guī)模集成電路多層膜的平坦化。3.用于半導體元件的加工,如晶圓后道CMP清洗、光導攝像管、多晶化模塊、平板顯示器、微電機系統(tǒng)等。4.廣泛應用于CMP化
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http://jeffvon.com/Article/jzdzgrjpgy_1.html
- [吉致動態(tài)]鏡面拋光液---氧化硅拋光液在拋光中的作用[
2022-08-12 14:17
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鏡面拋光液的主要材料是納米二氧化硅磨料,制備成的液體漿料也稱為硅溶膠拋光液。二氧化硅拋光液主要適用于拋光藍寶石襯底、硅片、半導體、精密電子工件、晶體等產(chǎn)品。二氧化硅拋光漿料主要利用硅膠離子的高速拋光來達到表面處理的效果。二氧化硅是用納米技術制成的。根據(jù)工件拋磨要求,可制備出不同切削力的產(chǎn)品達到鏡面拋光。粒度控制可以有效減少電子工件上的污垢,使用納米級硅膠顆粒加工工件,不會損傷工件,同時還能達到理想效果氧化硅拋光液需要配合精拋墊使用,精拋墊的主要成分是聚氨酯,聚氨酯的眾多孔隙可以將拋光液均勻地粘在其表面,與工件一起研
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