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吉致電子拋光材料 源頭廠家
25年 專注CMP拋光材料研發(fā)與生產(chǎn)

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[吉致動態(tài)]硅片拋光液(Slurry)在半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵作用與技術(shù)特性[ 2025-03-27 17:06 ]
在半導(dǎo)體制造工藝中,硅片的全局平坦化是確保集成電路性能與可靠性的關(guān)鍵步驟?;瘜W(xué)機械拋光(CMP, Chemical Mechanical Polishing)技術(shù)通過化學(xué)腐蝕與機械研磨的協(xié)同作用,實現(xiàn)硅片表面的納米級平整,而硅片拋光液(Slurry)作為CMP工藝的核心耗材,其性能直接影響拋光效率與表面質(zhì)量。吉致電子(Geeze Electronics)作為半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的領(lǐng)先供應(yīng)商,致力于提供高性能硅片拋光液解決方案,助力先進制程的發(fā)展。1. 硅片拋光液的核心組成硅片拋光液是一種精密配制的膠體懸浮液,主要
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[行業(yè)資訊]吉致電子---Si硅片拋光液,為半導(dǎo)體護航[ 2024-11-07 16:12 ]
  半導(dǎo)體硅片拋光液是一種均勻分散膠粒的乳白色膠體,在半導(dǎo)體材料的CMP加工過程中起著至關(guān)重要的作用。其外觀通常為乳白色或微藍色透明溶液。半導(dǎo)體硅片Si拋光液主要有拋光、潤滑、冷卻等作用。在拋光方面,Si Slurry能夠有效地去除半導(dǎo)體硅晶圓表面的雜質(zhì)和凸起,使硅片表面更加光滑平整。例如,經(jīng)過拋光液處理后,晶片表面的微粗糙度可以達到 0.2nm 以下。在潤滑作用中,它可以減少硅片與拋光設(shè)備之間的摩擦,降低磨損,延長設(shè)備的使用壽命。同時,在拋光過程中會產(chǎn)生熱量,而拋光液的冷卻作用可以及時帶走熱量,防止硅片
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