- [吉致動態(tài)]阻尼布拋光墊：提升工件CMP表面平坦度的秘訣[ 2024-11-15 16:15 ]
- 絨面拋光墊，亦稱阻尼布拋光墊，是由PU發(fā)泡微孔隙結構與底層特殊基材相結合的獨特復合材料。其表層的細微開孔和高壓縮率特性，使得拋光液Slurry得以充分涵養(yǎng)，從而促進機械與化學反應的充分作用。此外，表層優(yōu)秀的研磨液流動性有助于提升工件表面的潔凈度，降低表面粗糙度，并減少橘皮和微劃傷等缺陷。 阻尼布拋光墊廣泛應用于各種精密加工領域，如半導體、液晶顯示屏、光學玻璃等。其優(yōu)異的拋光性能不僅能夠滿足高精度的表面處理要求，而且在提高生產效率和降低材料消耗方面也表現(xiàn)出色。由于其獨特的材料結構，絨面拋光墊
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