- [行業(yè)資訊]半導(dǎo)體芯片研磨液與CMP工藝:鑄就芯片制造的基石[
2024-11-05 15:10
]
-
CMP工藝在芯片制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié) 在蓬勃發(fā)展的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,芯片制造如同一場(chǎng)精細(xì)的藝術(shù)創(chuàng)作,而半導(dǎo)體芯片研磨與CMP工藝則是其中重要的環(huán)節(jié)。芯片制造是一個(gè)高度復(fù)雜的過(guò)程,涉及多個(gè)步驟,CMP工藝在這個(gè)過(guò)程中起著不可或缺的作用。 隨著芯片制程不斷縮小,對(duì)晶圓表面平整度的要求越來(lái)越高。如果晶圓表面不平整,在后續(xù)的光刻、刻蝕等工藝中,就會(huì)出現(xiàn)對(duì)焦精度不準(zhǔn)確、線寬控制不穩(wěn)定等問(wèn)題,嚴(yán)重影響芯片的性能和質(zhì)量。例如,當(dāng)制造層數(shù)增加時(shí),如果晶圓表面不平整,可能導(dǎo)致金屬薄膜厚度不均進(jìn)而影響電阻值
-
http://jeffvon.com/Article/bdtxpymyyc_1.html
- [常見問(wèn)題]DNA基因芯片cmp工藝[
2024-10-11 17:17
]
-
基因芯片又稱DNA芯或DNA微陣列。它是一種同時(shí)將大量的探針?lè)肿庸潭ǖ焦滔嘀С治锷希柚怂岱肿与s交配對(duì)的特性對(duì)DNA樣品的序列信息進(jìn)行高效解讀和分析的技術(shù),主要應(yīng)用在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域、生物學(xué)研究領(lǐng)域和農(nóng)業(yè)領(lǐng)域。DNA芯片生產(chǎn)過(guò)程需要經(jīng)過(guò)CMP研磨拋光去除基板水凝膜,達(dá)到理想表面效果。 吉致電子DNA基因芯片slurry,有效去除基底涂覆的軟材料,軟材料包括但不限于聚合物、無(wú)機(jī)水凝膠或有機(jī)聚合物水凝膠等?;?font color='red'>芯片研磨液使用微米級(jí)磨料制備,粒徑均一穩(wěn)定,有效去除玻璃基底上的固化聚合物混合物、軟材質(zhì)水凝
-
http://jeffvon.com/Article/dnajyxpcmp_1.html
記錄總數(shù):0 | 頁(yè)數(shù):0