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吉致電子拋光材料 源頭廠家
25年 專注CMP拋光材料研發(fā)與生產(chǎn)

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[行業(yè)資訊]芯片拋光液(CMP Slurry):半導(dǎo)體平坦化的核心驅(qū)動(dòng)力[ 2025-04-08 11:12 ]
在半導(dǎo)體制造的精密世界里,納米級(jí)別的表面平整度宛如一把精準(zhǔn)的標(biāo)尺,直接主宰著芯片的性能與良率?;瘜W(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝宛如一位技藝精湛的大師,借助化學(xué)與機(jī)械的協(xié)同之力,達(dá)成晶圓表面的全局平坦化。而芯片拋光液(CMP Slurry),無(wú)疑是這一工藝得以順暢運(yùn)行的 “血液”,發(fā)揮著無(wú)可替代的關(guān)鍵作用。吉致電子,作為深耕半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的佼佼者,在此為您深度解析拋光液背后的技術(shù)奧秘,以及洞察其前沿發(fā)展趨勢(shì)。一、芯片拋光液的核心作用在CMP過(guò)程中,拋光液肩負(fù)著至關(guān)重要的雙重功能:化學(xué)腐蝕其所含的活性
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[吉致動(dòng)態(tài)]硅片拋光液(Slurry)在半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵作用與技術(shù)特性[ 2025-03-27 17:06 ]
在半導(dǎo)體制造工藝中,硅片的全局平坦化是確保集成電路性能與可靠性的關(guān)鍵步驟?;瘜W(xué)機(jī)械拋光(CMP, Chemical Mechanical Polishing)技術(shù)通過(guò)化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同作用,實(shí)現(xiàn)硅片表面的納米級(jí)平整,而硅片拋光液(Slurry)作為CMP工藝的核心耗材,其性能直接影響拋光效率與表面質(zhì)量。吉致電子(Geeze Electronics)作為半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的領(lǐng)先供應(yīng)商,致力于提供高性能硅片拋光液解決方案,助力先進(jìn)制程的發(fā)展。1. 硅片拋光液的核心組成硅片拋光液是一種精密配制的膠體懸浮液,主要
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[吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子:半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry解析[ 2025-03-26 16:10 ]
在半導(dǎo)體制造工藝中,化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是實(shí)現(xiàn)晶圓表面全局平坦化的核心步驟,而拋光液(Slurry)的性能直接影響芯片的良率和可靠性。隨著制程節(jié)點(diǎn)不斷微縮至5nm、3nm甚至更先進(jìn)工藝,對(duì)CMP拋光液的化學(xué)穩(wěn)定性、材料選擇性和缺陷控制提出了更高要求。作為CMP材料解決方案提供商,吉致電子持續(xù)優(yōu)化拋光液技術(shù),助力客戶突破先進(jìn)制程瓶頸。1. 基本組成與功能CMP拋光液由磨料顆粒、化學(xué)添加劑和超純水組成,通過(guò)化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同作用實(shí)現(xiàn)晶圓表面納米級(jí)平坦化。磨料顆粒:SiO?(二氧化硅):廣泛用于氧化物拋光,具有高
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[吉致動(dòng)態(tài)]行業(yè)聚焦:硅片CMP研磨拋光液,如何重塑芯片制造格局[ 2025-03-20 14:17 ]
在半導(dǎo)體制造的前沿領(lǐng)域,Si硅片CMP研磨拋光液占據(jù)著舉足輕重的地位,是實(shí)現(xiàn)芯片制造精度與性能突破的關(guān)鍵要素。拋光液(CMP Slurry)、拋光墊(CMP Pad)作為硅片化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝的核心耗材,為構(gòu)建微觀世界的精密電路網(wǎng)絡(luò)奠定了基石。一、核心構(gòu)成,協(xié)同增效硅片 CMP 研磨拋光液是一個(gè)精心調(diào)配的多元體系,每一組分都各司其職,協(xié)同作用,共同塑造卓越的拋光效果。精密磨料,微米級(jí)雕琢:體系中搭載了納米級(jí)的二氧化硅、氧化鋁或氧化鈰等磨料顆粒。
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[行業(yè)資訊]半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry:精密制造的核心材料[ 2025-03-19 10:48 ]
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry是一種不可或缺的關(guān)鍵材料,廣泛應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械拋光CMP工藝中。它通過(guò)獨(dú)特的機(jī)械研磨與化學(xué)反應(yīng)相結(jié)合的方式,幫助實(shí)現(xiàn)晶圓表面的納米級(jí)平坦化,為高性能半導(dǎo)體器件的制造提供了重要保障。什么是半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry? 半導(dǎo)體Slurry是一種由研磨顆粒、化學(xué)添加劑和液體介質(zhì)組成的精密材料。在CMP工藝中
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[行業(yè)資訊]精密制造新標(biāo)桿:吉致電子藍(lán)寶石研磨液技術(shù)解析[ 2025-03-13 15:28 ]
藍(lán)寶石研磨液Sapphire Slurry,也稱為藍(lán)寶石拋光液,是專為藍(lán)寶石材料精密加工而設(shè)計(jì)的高性能拋光液。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于藍(lán)寶石襯底、外延片、光學(xué)窗口、藍(lán)寶石晶圓(Wafer)的減薄和拋光工藝,能夠滿足高平坦度、高表面質(zhì)量的加工需求。吉致電子藍(lán)寶石拋光液由高純度磨粒、復(fù)合分散劑和分散介質(zhì)精心配制而成,具有以下顯著優(yōu)勢(shì):1.高穩(wěn)定性:懸浮體系穩(wěn)定,不易沉降或結(jié)晶,確保拋光過(guò)程的一致性;2.高效拋光:拋光速度快,顯著提升加工效率;3.精密加工:采用納米SiO2粒子作為磨料,可在高效研磨的同時(shí)避免對(duì)工件表面造成物理?yè)p傷
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[吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子:Oxide拋光液的核心作用與應(yīng)用解析[ 2025-03-08 10:10 ]
氧化層拋光液(OX slurry)是一種專為半導(dǎo)體制造、金屬加工及精密光學(xué)元件等領(lǐng)域設(shè)計(jì)的高性能化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)材料。其核心作用是通過(guò)化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同效應(yīng),精準(zhǔn)去除材料表面的氧化層、瑕疵及微觀不平整,從而實(shí)現(xiàn)高平整度、低缺陷率的拋光效果。該技術(shù)貫穿芯片 “從砂到芯” 的全流程,是集成電路制造中晶圓平坦化工藝的關(guān)鍵材料。吉致電子氧化層拋光液的功能與優(yōu)勢(shì)如下:一、吉致電子CMP氧化層拋光液的核心功能1.精準(zhǔn)表面處理通過(guò)化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨協(xié)同作用,定向去除材料表面氧化層、瑕疵及微觀不
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[常見(jiàn)問(wèn)題]半導(dǎo)體銅CMP拋光液:銅互連工藝的核心材料[ 2025-02-25 14:44 ]
半導(dǎo)體銅化學(xué)機(jī)械拋光液(Copper CMP Slurry)是用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中銅互連層化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)的關(guān)鍵材料。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,銅CU因其低電阻率和高抗電遷移性能,取代鋁成為主流互連材料。銅CMP拋光液在銅互連工藝中起到至關(guān)重要的作用,確保銅層平整化并實(shí)現(xiàn)多層互連結(jié)構(gòu),CU CMP Slurry通過(guò)化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的結(jié)合,實(shí)現(xiàn)銅層的高精度平整化和表面質(zhì)量控制。。 一、Copper CMP Slurry銅CMP拋光液的組成:主要磨料顆粒(Abrasive Particles)有二氧化硅(
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[行業(yè)資訊]CMP拋光液:精密光學(xué)鏡頭制造的幕后英雄[ 2025-02-12 16:24 ]
CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)技術(shù)在光學(xué)制造領(lǐng)域確實(shí)扮演著至關(guān)重要的角色,尤其是在高精度光學(xué)元件的加工中。CMP拋光液通過(guò)化學(xué)腐蝕和機(jī)械研磨的結(jié)合,能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)玻璃表面的超平滑處理,滿足現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)對(duì)表面粗糙度和形狀精度的嚴(yán)苛要求。 吉致電子光學(xué)玻璃CMP Slurry的應(yīng)用領(lǐng)域:①精密光學(xué)鏡頭:在手機(jī)攝像頭、顯微鏡、望遠(yuǎn)鏡等光學(xué)系統(tǒng)中,通過(guò)CMP工藝和拋光液的拋磨可使光學(xué)鏡頭元件在光線折射與散射方面得到有效優(yōu)化,成像質(zhì)量大幅提升。確保了鏡頭的高分辨率和成像質(zhì)量。②航空航天光學(xué)窗口:航空航天光學(xué)窗口面臨復(fù)雜空間環(huán)
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[吉致動(dòng)態(tài)]磷化銦襯底拋光液與CMP工藝的關(guān)聯(lián)[ 2025-02-07 11:33 ]
磷化銦襯底拋光液與化學(xué)機(jī)械平面研磨工藝(CMP)的關(guān)聯(lián)磷化銦(InP)作為第二代半導(dǎo)體材料的代表,因其優(yōu)異的電學(xué)、光學(xué)和熱學(xué)性能,在高速電子器件、光電子器件和微波器件等領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。然而InP襯底表面的高質(zhì)量加工是實(shí)現(xiàn)高性能器件的關(guān)鍵,其中化學(xué)機(jī)械平面研磨工藝(CMP)扮演著至關(guān)重要的角色。一、 磷化銦襯底為什么使用CMP技術(shù)CMP是一種結(jié)合化學(xué)腐蝕和機(jī)械研磨的表面平坦化技術(shù),通過(guò)拋光液slurry中的磨料成分與襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成一層易于去除的軟化層,再借助拋光墊Pad的機(jī)械作用將其去除,從而實(shí)
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[吉致動(dòng)態(tài)]為什么不能用機(jī)械磨削grinding代替cmp?[ 2025-01-09 15:29 ]
  為何僅在晶圓背面減薄過(guò)程中采用grinding工藝?盡管在芯片制程中也存在減薄需求,為何選擇cmp工藝而非grinding?Grinding與cmp工藝的原理是什么?Grinding,即機(jī)械磨削,是一種通過(guò)機(jī)械力直接去除晶圓表面材料的方法。通常不使用研磨液,而是利用超純水進(jìn)行清洗或帶走產(chǎn)生的碎屑和熱量。相比之下,cmp即化學(xué)機(jī)械研磨,結(jié)合了化學(xué)反應(yīng)與機(jī)械力來(lái)去除材料。目標(biāo)材料首先與cmp slurry中的氧化劑、酸、堿等發(fā)生微反應(yīng),隨后在拋光頭、拋光墊以及slurry中磨料的共同作用下,通過(guò)機(jī)械力去除
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[行業(yè)資訊]吉致電子CMP拋光墊:從粗到精,體驗(yàn)高效拋光[ 2024-11-29 14:35 ]
  CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)拋光墊是一種在半導(dǎo)體制造過(guò)程中用于平面化晶圓表面的關(guān)鍵材料。CMP拋光墊通過(guò)結(jié)合化學(xué)反應(yīng)和機(jī)械研磨的方式,能夠有效地去除晶圓表面的多余材料,從而達(dá)到高度平整的表面質(zhì)量。拋光墊CMP PAD通常由高分子聚合物材料制成,表面具有一定的微孔結(jié)構(gòu),以便在拋光過(guò)程中儲(chǔ)存和釋放拋光液CMP Slurry,從而確保拋光過(guò)程的均勻性和效率。  CMP拋光墊在使用過(guò)程中需要定期更換,以保持其最佳的拋光性能。不同的CMP拋光墊適用于不同的拋光工藝和材料,因此選擇合適的拋光墊對(duì)于確保晶圓質(zhì)量
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[吉致動(dòng)態(tài)]阻尼布拋光墊:提升工件CMP表面平坦度的秘訣[ 2024-11-15 16:15 ]
  絨面拋光墊,亦稱阻尼布拋光墊,是由PU發(fā)泡微孔隙結(jié)構(gòu)與底層特殊基材相結(jié)合的獨(dú)特復(fù)合材料。其表層的細(xì)微開(kāi)孔和高壓縮率特性,使得拋光液Slurry得以充分涵養(yǎng),從而促進(jìn)機(jī)械與化學(xué)反應(yīng)的充分作用。此外,表層優(yōu)秀的研磨液流動(dòng)性有助于提升工件表面的潔凈度,降低表面粗糙度,并減少橘皮和微劃傷等缺陷。  阻尼布拋光墊廣泛應(yīng)用于各種精密加工領(lǐng)域,如半導(dǎo)體、液晶顯示屏、光學(xué)玻璃等。其優(yōu)異的拋光性能不僅能夠滿足高精度的表面處理要求,而且在提高生產(chǎn)效率和降低材料消耗方面也表現(xiàn)出色。由于其獨(dú)特的材料結(jié)構(gòu),絨面拋光墊
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[行業(yè)資訊]吉致電子---Si硅片拋光液,為半導(dǎo)體護(hù)航[ 2024-11-07 16:12 ]
  半導(dǎo)體硅片拋光液是一種均勻分散膠粒的乳白色膠體,在半導(dǎo)體材料的CMP加工過(guò)程中起著至關(guān)重要的作用。其外觀通常為乳白色或微藍(lán)色透明溶液。半導(dǎo)體硅片Si拋光液主要有拋光、潤(rùn)滑、冷卻等作用。在拋光方面,Si Slurry能夠有效地去除半導(dǎo)體硅晶圓表面的雜質(zhì)和凸起,使硅片表面更加光滑平整。例如,經(jīng)過(guò)拋光液處理后,晶片表面的微粗糙度可以達(dá)到 0.2nm 以下。在潤(rùn)滑作用中,它可以減少硅片與拋光設(shè)備之間的摩擦,降低磨損,延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。同時(shí),在拋光過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生熱量,而拋光液的冷卻作用可以及時(shí)帶走熱量,防止硅片
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[行業(yè)資訊]吉致電子---磷化銦InP晶圓拋光液的市場(chǎng)現(xiàn)狀[ 2024-10-25 11:44 ]
  目前,全球磷化銦(InP)晶圓市場(chǎng)的cmp拋光耗材主要由少數(shù)國(guó)外廠商主導(dǎo)。這些國(guó)外廠商憑借先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),在產(chǎn)品質(zhì)量和性能方面具有顯著優(yōu)勢(shì)。例如Fujimi Incorporated、Ferro (UWiZ Technology) 等企業(yè)在全球半導(dǎo)體slurry拋光液市場(chǎng)中具有較高的知名度和占有率。  相比之下,國(guó)內(nèi)企業(yè)的磷化銦(InP)晶圓拋光液研發(fā)起步較晚,但近年來(lái)隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體的快速發(fā)展,國(guó)產(chǎn)cmp拋光耗材也大量進(jìn)入市場(chǎng),國(guó)內(nèi)廠家也在不斷加大研發(fā)投入,努力提升拋光液、拋光墊產(chǎn)品
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[行業(yè)資訊]杜邦I(lǐng)C1000拋光墊的特點(diǎn)及國(guó)產(chǎn)替代[ 2024-10-23 14:50 ]
  在半導(dǎo)體晶圓及芯片的制造過(guò)程中,CMP是實(shí)現(xiàn)晶圓表面全局平坦化的關(guān)鍵工藝,而IC1000作為一種高性能的拋光墊,為 CMP工藝的順利進(jìn)行提供了有力保障。  杜邦I(lǐng)C1000系列拋光墊能夠存儲(chǔ)和輸送CMP拋光液至拋光區(qū)域,通過(guò)slurry的流動(dòng)和分布使拋光工作持續(xù)均勻地進(jìn)行。在化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程中,拋光液中的化學(xué)成分與晶圓表面材料產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),生成較易去除的物質(zhì),而dupont IC1000 Pad為這一化學(xué)反應(yīng)提供了穩(wěn)定的場(chǎng)所。同時(shí),IC1000拋光墊能夠去除拋光過(guò)程中產(chǎn)生的副產(chǎn)品,如氧化產(chǎn)物
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[常見(jiàn)問(wèn)題]DNA基因芯片cmp工藝[ 2024-10-11 17:17 ]
  基因芯片又稱DNA芯或DNA微陣列。它是一種同時(shí)將大量的探針?lè)肿庸潭ǖ焦滔嘀С治锷?,借助核酸分子雜交配對(duì)的特性對(duì)DNA樣品的序列信息進(jìn)行高效解讀和分析的技術(shù),主要應(yīng)用在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域、生物學(xué)研究領(lǐng)域和農(nóng)業(yè)領(lǐng)域。DNA芯片生產(chǎn)過(guò)程需要經(jīng)過(guò)CMP研磨拋光去除基板水凝膜,達(dá)到理想表面效果。 吉致電子DNA基因芯片slurry,有效去除基底涂覆的軟材料,軟材料包括但不限于聚合物、無(wú)機(jī)水凝膠或有機(jī)聚合物水凝膠等?;蛐酒心ヒ菏褂梦⒚准?jí)磨料制備,粒徑均一穩(wěn)定,有效去除玻璃基底上的固化聚合物混合物、軟材質(zhì)水凝
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[行業(yè)資訊]納米拋光液---吉致電子氧化硅slurry的應(yīng)用及特點(diǎn)[ 2024-10-10 16:56 ]
  吉致電子納米級(jí)氧化硅拋光液是以高純度硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型CMP拋光產(chǎn)品。粒度均一的SiO2磨料顆粒在CMP研磨過(guò)程中分散均勻,能達(dá)到快速拋光的目的且不會(huì)對(duì)加工件造成物理?yè)p傷。納米級(jí)硅溶膠拋光液不易腐蝕設(shè)備,提高了使用的安全性。制備工藝和配方有效提高了平坦化加工速率,快速降低表面粗糙度,且工件表面劃傷少。  吉致電子氧化硅slurry粒徑分布可控,根據(jù)不同的拋光需求,生產(chǎn)出不同粒徑大小的納米氧化硅拋光液,粒徑范圍通常在 5-100nm 之間。以氧化硅為磨料的納米拋
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[常見(jiàn)問(wèn)題]CMP拋光液---半導(dǎo)體拋光液種類有哪些[ 2024-08-09 09:01 ]
  半導(dǎo)體拋光液種類有哪些?CMP拋光液在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用遠(yuǎn)不止晶圓拋光,半導(dǎo)體使用的CMP制程包括氧化層(Oxide CMP)、多晶硅(Poly CMP)、金屬層(Metal CMP)。就拋光工藝而言,不同制程的產(chǎn)品需要不同的拋光流程,28nm制程需要12~13次CMP,進(jìn)入10nm制程后CMP次數(shù)將翻倍,達(dá)到25~30次。STI CMP Slurry---淺溝槽隔離平坦化  STI淺溝槽隔離技術(shù)是用氧化物隔開(kāi)各個(gè)門電路,使各門電路之間互不導(dǎo)通,STI CMP工藝的目標(biāo)是去除填充在淺溝槽中的
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[吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子主要業(yè)務(wù)及CMP產(chǎn)品有哪些[ 2024-06-04 16:54 ]
吉致電子科技有限公司的主要業(yè)務(wù)及服務(wù)行業(yè)有:半導(dǎo)體集成電路、金屬行業(yè)、光電行業(yè)、陶瓷行業(yè)等。CMP產(chǎn)品包括:拋光液、拋光墊、清洗劑、其他研磨拋光耗材等。吉致電子致力于產(chǎn)品質(zhì)量嚴(yán)格管控,多年研發(fā)經(jīng)驗(yàn)技術(shù),已為數(shù)家百?gòu)?qiáng)企業(yè)提供拋光解決方案并長(zhǎng)期合作。吉致電子CMP拋光液產(chǎn)品主要包括以下系列:半導(dǎo)體集成電路:Si wafer slurry / SiC wafer slurry / W slurry / IC CU slurry / Oxide slurry / 3D TSV CU slurry / FA slurry /
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