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吉致電子拋光材料 源頭廠家
25年 專注CMP拋光材料研發(fā)與生產(chǎn)

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[行業(yè)資訊]金剛石研磨液在CMP工藝中的應(yīng)用與優(yōu)勢[ 2025-04-01 15:37 ]
化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)是半導(dǎo)體、光學(xué)玻璃、陶瓷、硬質(zhì)合金及精密制造行業(yè)的關(guān)鍵工藝,用于實現(xiàn)材料表面的超精密平坦化。針對藍(lán)寶石、碳化硅(SiC)、硬質(zhì)合金等高硬度材料的加工需求,傳統(tǒng)研磨液難以滿足高精度、低損傷的要求,因此CMP拋光液、CMP拋光墊是滿足高精度工件平坦化的重要耗材。其中金剛石研磨液憑借其超硬特性和穩(wěn)定可控性,通過精準(zhǔn)調(diào)控化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同效應(yīng)(Chemo-Mechanical Synergy)實現(xiàn)實現(xiàn)亞納米級表面。1. 金剛石CMP研
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[吉致動態(tài)]吉致電子:半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry解析[ 2025-03-26 16:10 ]
在半導(dǎo)體制造工藝中,化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是實現(xiàn)晶圓表面全局平坦化的核心步驟,而拋光液(Slurry)的性能直接影響芯片的良率和可靠性。隨著制程節(jié)點不斷微縮至5nm、3nm甚至更先進(jìn)工藝,對CMP拋光液的化學(xué)穩(wěn)定性、材料選擇性和缺陷控制提出了更高要求。作為CMP材料解決方案提供商,吉致電子持續(xù)優(yōu)化拋光液技術(shù),助力客戶突破先進(jìn)制程瓶頸。1. 基本組成與功能CMP拋光液由磨料顆粒、化學(xué)添加劑和超純水組成,通過化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同作用實現(xiàn)晶圓表面納米級平坦化。磨料顆粒:SiO?(二氧化硅):廣泛用于氧化物拋光,具有高
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[行業(yè)資訊]半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry:精密制造的核心材料[ 2025-03-19 10:48 ]
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry是一種不可或缺的關(guān)鍵材料,廣泛應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械拋光CMP工藝中。它通過獨特的機(jī)械研磨與化學(xué)反應(yīng)相結(jié)合的方式,幫助實現(xiàn)晶圓表面的納米級平坦化,為高性能半導(dǎo)體器件的制造提供了重要保障。什么是半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry? 半導(dǎo)體Slurry是一種由研磨顆粒、化學(xué)添加劑和液體介質(zhì)組成的精密材料。在CMP工藝中
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[行業(yè)資訊]CMP拋光液:從第一代到第三代半導(dǎo)體材料的精密拋光利器[ 2025-03-14 15:21 ]
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展,化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝在集成電路制造中的地位愈發(fā)重要。CMP拋光液作為這一工藝的核心材料,不僅廣泛應(yīng)用于傳統(tǒng)的第一代和第二代半導(dǎo)體材料,如硅(Si)和砷化鎵(GaAs),更在第三代半導(dǎo)體材料的拋光中展現(xiàn)出巨大的潛力。CMP拋光液在第三代半導(dǎo)體材料中的應(yīng)用第三代半導(dǎo)體材料以碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、氧化鋅(ZnO)、金剛石和氮化鋁(AlN)為代表,具有寬禁帶、高導(dǎo)熱率、抗輻射能力強(qiáng)、電子飽和漂移速率大等優(yōu)異特性。這些材料在高溫、高頻、大功率電子器件中表現(xiàn)突出,成為5G基站、新能
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[常見問題]半導(dǎo)體銅CMP拋光液:銅互連工藝的核心材料[ 2025-02-25 14:44 ]
半導(dǎo)體銅化學(xué)機(jī)械拋光液(Copper CMP Slurry)是用于半導(dǎo)體制造過程中銅互連層化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)的關(guān)鍵材料。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,銅CU因其低電阻率和高抗電遷移性能,取代鋁成為主流互連材料。銅CMP拋光液在銅互連工藝中起到至關(guān)重要的作用,確保銅層平整化并實現(xiàn)多層互連結(jié)構(gòu),CU CMP Slurry通過化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的結(jié)合,實現(xiàn)銅層的高精度平整化和表面質(zhì)量控制。。 一、Copper CMP Slurry銅CMP拋光液的組成:主要磨料顆粒(Abrasive Particles)有二氧化硅(
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[行業(yè)資訊]CMP拋光液:精密光學(xué)鏡頭制造的幕后英雄[ 2025-02-12 16:24 ]
CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)技術(shù)在光學(xué)制造領(lǐng)域確實扮演著至關(guān)重要的角色,尤其是在高精度光學(xué)元件的加工中。CMP拋光液通過化學(xué)腐蝕和機(jī)械研磨的結(jié)合,能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)玻璃表面的超平滑處理,滿足現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)對表面粗糙度和形狀精度的嚴(yán)苛要求。 吉致電子光學(xué)玻璃CMP Slurry的應(yīng)用領(lǐng)域:①精密光學(xué)鏡頭:在手機(jī)攝像頭、顯微鏡、望遠(yuǎn)鏡等光學(xué)系統(tǒng)中,通過CMP工藝和拋光液的拋磨可使光學(xué)鏡頭元件在光線折射與散射方面得到有效優(yōu)化,成像質(zhì)量大幅提升。確保了鏡頭的高分辨率和成像質(zhì)量。②航空航天光學(xué)窗口:航空航天光學(xué)窗口面臨復(fù)雜空間環(huán)
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[行業(yè)資訊]碳化硅襯底CMP工藝面臨的挑戰(zhàn)與解決方案[ 2025-01-23 17:18 ]
SiC CMP拋光液是一種用于對碳化硅襯底進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光的關(guān)鍵材料,通過化學(xué)腐蝕和機(jī)械磨損的協(xié)同作用,實現(xiàn)碳化硅襯底表面材料的去除及平坦化,從而提高晶圓襯底的表面質(zhì)量,達(dá)到超光滑、無缺陷損傷的狀態(tài),滿足外延應(yīng)用等對襯底表面質(zhì)量的嚴(yán)苛要求。目前碳化硅襯底CMP工藝面臨的挑戰(zhàn)與解決方案:①碳化硅硬度高:碳化硅硬度僅次于金剛石,這使得其拋光難度較大。需要研發(fā)更高效的磨料和優(yōu)化拋光液配方,以提高對碳化硅的去除速率。例如,采用高硬度、高活性的磨料,并優(yōu)化磨料的粒徑分布和形狀,同時調(diào)整化學(xué)試劑的種類和濃度,增強(qiáng)
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[吉致動態(tài)]吉致電子CMP拋光液在光學(xué)玻璃加工中的應(yīng)用進(jìn)展[ 2024-12-11 16:17 ]
  CMP拋光液在光學(xué)玻璃領(lǐng)域的應(yīng)用主要體現(xiàn)在實現(xiàn)光學(xué)玻璃表面的超精密加工,以滿足對表面粗糙度和平坦度的高要求。CMP拋光液通過化學(xué)作用和機(jī)械研磨的有機(jī)結(jié)合,能夠有效地去除光學(xué)玻璃表面的材料,達(dá)到高度平坦化、低表面粗糙度和低缺陷的效果。隨著光學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,對光學(xué)玻璃表面質(zhì)量的要求也越來越高。CMP拋光液/研磨液作為一種先進(jìn)的拋光材料,在光學(xué)玻璃領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛。   在CMP拋光過程中,拋光液中的化學(xué)成分與光學(xué)玻璃表面發(fā)生反應(yīng)形成軟質(zhì)層。同時,拋光液中的磨料微粒,如納米二氧化硅
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[吉致動態(tài)]吉致電子--磷化銦拋光液在半導(dǎo)體CMP制程中的應(yīng)用[ 2024-12-05 16:20 ]
無錫吉致電子科技提供的磷化銦襯底拋光液是一種專門用于半導(dǎo)體材料磷化銦表面處理的CMP化學(xué)機(jī)械拋光漿料。它包含特定的磨料和化學(xué)成分,能夠有效去除磷化銦表面的微小缺陷和不平整,確保獲得光滑、無損傷的表面。磷化銦拋光液在半導(dǎo)體制造過程中非常重要,它直接影響到最終器件的性能和穩(wěn)定性。磷化銦襯底拋光液的選擇和使用是一個復(fù)雜的過程,需要綜合考慮多個因素,且在CMP拋磨使用時,需要根據(jù)磷化銦襯底的具體要求和拋光設(shè)備的特性來選擇合適的InP拋光液,并嚴(yán)格控制拋光過程中的參數(shù),如溫度、壓力和拋光時間等。首先,磷化銦CMP拋光液的成分
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[行業(yè)資訊]解鎖高效,硬質(zhì)合金CMP拋光液來襲[ 2024-10-30 16:46 ]
   硬質(zhì)合金是由難熔金屬的硬質(zhì)化合物和粘結(jié)金屬通過粉末冶金工藝制成的一種合金材料。它具有硬度高、耐磨、強(qiáng)度和韌性較好、耐熱、耐腐蝕等一系列優(yōu)良性能,被譽(yù)為“工業(yè)牙齒”,廣泛用于切削工具、刀具、鈷具和耐磨零部件,在軍工、航天航空、機(jī)械加工、冶金、石油鉆井、礦山工具、電子通訊、建筑等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。常用硬質(zhì)合金按成分和性能特點分為三類:鎢鈷類、鎢鈦鈷類、鎢鈦鉭(鈮)類,每種都有其適用的領(lǐng)域和優(yōu)勢。硬質(zhì)合金平面件,如鎢鋼、鎢合金材質(zhì)等使用CMP拋光液和CMP研磨工藝能達(dá)到
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[行業(yè)資訊]杜邦I(lǐng)C1000拋光墊的特點及國產(chǎn)替代[ 2024-10-23 14:50 ]
  在半導(dǎo)體晶圓及芯片的制造過程中,CMP是實現(xiàn)晶圓表面全局平坦化的關(guān)鍵工藝,而IC1000作為一種高性能的拋光墊,為 CMP工藝的順利進(jìn)行提供了有力保障。  杜邦I(lǐng)C1000系列拋光墊能夠存儲和輸送CMP拋光液至拋光區(qū)域,通過slurry的流動和分布使拋光工作持續(xù)均勻地進(jìn)行。在化學(xué)機(jī)械拋光過程中,拋光液中的化學(xué)成分與晶圓表面材料產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),生成較易去除的物質(zhì),而dupont IC1000 Pad為這一化學(xué)反應(yīng)提供了穩(wěn)定的場所。同時,IC1000拋光墊能夠去除拋光過程中產(chǎn)生的副產(chǎn)品,如氧化產(chǎn)物
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[吉致動態(tài)]吉致電子鈮酸鋰拋光液的重要作用[ 2024-10-03 12:06 ]
吉致電子鈮酸鋰晶體化學(xué)機(jī)械拋光液在多個領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的用途。鈮酸鋰在半導(dǎo)體行業(yè)中是晶圓制備過程中的關(guān)鍵材料。通過CMP化學(xué)機(jī)械拋光,能夠有效提高晶圓的表面平整度和光潔度,為后續(xù)的半導(dǎo)體器件制造提供優(yōu)質(zhì)的基礎(chǔ)。例如,在集成電路的生產(chǎn)中,鈮酸鋰晶體化學(xué)機(jī)械拋光液能夠精確地去除工件表面的微小凸起和雜質(zhì),達(dá)到表面平坦化效果,確保后期芯片制造的性能和可靠性。鈮酸鋰cmp拋光液還能為光學(xué)表面提供高光潔度拋光,因其具有優(yōu)良的電光、聲光、壓電等性能,在光電子領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。經(jīng)過CMP拋光液處理后的鈮酸鋰光學(xué)元件,表面粗糙度極低
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[常見問題]CMP拋光液---半導(dǎo)體拋光液種類有哪些[ 2024-08-09 09:01 ]
  半導(dǎo)體拋光液種類有哪些?CMP拋光液在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用遠(yuǎn)不止晶圓拋光,半導(dǎo)體使用的CMP制程包括氧化層(Oxide CMP)、多晶硅(Poly CMP)、金屬層(Metal CMP)。就拋光工藝而言,不同制程的產(chǎn)品需要不同的拋光流程,28nm制程需要12~13次CMP,進(jìn)入10nm制程后CMP次數(shù)將翻倍,達(dá)到25~30次。STI CMP Slurry---淺溝槽隔離平坦化  STI淺溝槽隔離技術(shù)是用氧化物隔開各個門電路,使各門電路之間互不導(dǎo)通,STI CMP工藝的目標(biāo)是去除填充在淺溝槽中的
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[常見問題]吉致電子CMP拋光墊的作用[ 2024-07-18 16:19 ]
CMP技術(shù)是指被拋光材料在化學(xué)和機(jī)械的共同作用下,工件表面達(dá)到所要求的平整度的一個工藝過程。cmp拋光液中的化學(xué)成分與被拋磨工件材料表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),形成易去除的軟化層,拋光墊和拋光液中的研磨顆粒對材料表面進(jìn)行物理機(jī)械拋光將軟化層除去。在CMP制程中,拋光墊的主要作用有:①使拋光液有效均勻分布至整個加工區(qū)域,且可提供新補(bǔ)充的拋光液進(jìn)行一個拋光液循環(huán);②從工件拋光表面除去拋光過程產(chǎn)生的殘留物(如拋光碎屑、拋光碎片等);③傳遞材料去除所需的機(jī)械載荷;④維持拋光過程所需的機(jī)械和化學(xué)環(huán)境。除拋光墊的力學(xué)性能以外,其表面組織
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[行業(yè)資訊]LT鉭酸鋰晶片的CMP拋光液[ 2024-06-06 11:46 ]
鉭酸鋰LiTaO3作為非線性光學(xué)晶體、電光晶體、壓電晶體、聲光晶體和雙折射晶體等在現(xiàn)今以光技術(shù)產(chǎn)業(yè)為中心的IT 產(chǎn)業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用。 晶體材料的結(jié)構(gòu)與其光學(xué)性能息息相關(guān),鉭酸鋰LT晶體是一種優(yōu)良的多功能材料,具有很高的應(yīng)用價值。LiTaO3晶體以它的化學(xué)性能穩(wěn)定高(不溶與水),居里點高于600℃,不易出現(xiàn)退極化現(xiàn)象,介電損耗低,探測率優(yōu)值高的優(yōu)良特性,成為熱釋電紅外探測器的應(yīng)用材料。  經(jīng)過CMP拋光的LT晶片廣泛用于諧振器、濾波器、換能器等電子通訊器件的制造,尤其以它良好的機(jī)電耦合、溫度系數(shù)等綜合性
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[吉致動態(tài)]吉致電子主要業(yè)務(wù)及CMP產(chǎn)品有哪些[ 2024-06-04 16:54 ]
吉致電子科技有限公司的主要業(yè)務(wù)及服務(wù)行業(yè)有:半導(dǎo)體集成電路、金屬行業(yè)、光電行業(yè)、陶瓷行業(yè)等。CMP產(chǎn)品包括:拋光液、拋光墊、清洗劑、其他研磨拋光耗材等。吉致電子致力于產(chǎn)品質(zhì)量嚴(yán)格管控,多年研發(fā)經(jīng)驗技術(shù),已為數(shù)家百強(qiáng)企業(yè)提供拋光解決方案并長期合作。吉致電子CMP拋光液產(chǎn)品主要包括以下系列:半導(dǎo)體集成電路:Si wafer slurry / SiC wafer slurry / W slurry / IC CU slurry / Oxide slurry / 3D TSV CU slurry / FA slurry /
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[常見問題]CMP化學(xué)機(jī)械拋光在半導(dǎo)體領(lǐng)域的重要作用[ 2023-12-21 11:53 ]
  化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是半導(dǎo)體晶圓制造的關(guān)鍵步驟,這項工藝能有效減少和降低晶圓表面的不平整,達(dá)到半導(dǎo)體加工所需的高精度平面要求。拋光液(slurry)、拋光墊(pad)是CMP技術(shù)的關(guān)鍵耗材,分別占CMP耗材49%和33%的價值量,CMP耗材品質(zhì)直接影響拋光效果,對提高晶圓制造質(zhì)量至關(guān)重要。  CMP拋光液/墊技術(shù)壁壘較高,高品質(zhì)的拋光液需要綜合控制磨料硬度、粒徑、形狀、各成分質(zhì)量濃度等要素。拋光墊則更加看重低缺陷率和長使用壽命。配置多功能,高效率的拋光液是提升CMP效果的重要環(huán)節(jié)。&nbs
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[應(yīng)用案例]吉致電子--CMP不銹鋼表面快速拋光[ 2023-12-18 17:58 ]
不銹鋼獲取高質(zhì)量的鏡面的傳統(tǒng)工藝主要采用的拋光技術(shù):電解拋光、化學(xué)拋光和機(jī)械拋光。隨著對鏡面不銹鋼表面質(zhì)量要求的不斷提高,同時為了提高拋光效率,新型不銹鋼拋光工藝----CMP化學(xué)機(jī)械拋光 被廣泛應(yīng)用。吉致電子針對不銹鋼表面鏡面處理,配制組成的CMP拋光液,通過化學(xué)溶液提高不銹鋼表面活性,同時進(jìn)行高速的機(jī)械拋光,用來消除表面凹凸而獲得更高質(zhì)量的光潔鏡面。CMP化學(xué)機(jī)械拋光對環(huán)境污染最小,不銹鋼鏡面拋光質(zhì)量最好,快速有效降低原始工件表面粗糙度,經(jīng)過粗拋和精拋工藝能達(dá)到鏡面效果,無劃傷、無凹坑、無麻點橘皮。根據(jù)金屬的種
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[常見問題]藍(lán)寶石襯底拋光液--納米氧化鋁拋光液/研磨液[ 2023-10-31 16:46 ]
  氧化鋁拋光液在LED行業(yè)的應(yīng)用廣泛,如藍(lán)寶石襯底的CMP拋光,為避免大粒徑磨料對工件造成劃傷,通常選用粒徑為50∼200nm,且粒徑分布均勻的納米α-Al2O3磨料。為了確保藍(lán)寶石襯底能拋出均勻的鏡面光澤,需要提升CMP拋光液的切削速率及平坦化效果,吉致電子科技生產(chǎn)的氧化鋁拋光液/研磨液可專業(yè)用于藍(lán)寶石拋光,氧化鋁磨料具有分布窄,粒徑小,硬度高、尺寸穩(wěn)定性好,α相轉(zhuǎn)晶完全,團(tuán)聚小易分散等特點。  吉致電子對α-Al2O3顆粒的Zeta電位,以及拋光液添加穩(wěn)定劑、分散劑的種類和質(zhì)量都有
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[應(yīng)用案例]氧化鋁陶瓷拋光液鏡面拋光[ 2023-10-20 16:16 ]
  氧化鋁陶瓷片的表面拋光具有一定難度,原因有兩個,一是氧化鋁材質(zhì)硬度較高,難以研磨。其二,氧化鋁陶瓷表面吸光性較強(qiáng),普通拋光難以達(dá)到鏡面效果。這就使得氧化鋁陶瓷拋光的難度無限擴(kuò)大,針對這些加工難點,吉致電子已經(jīng)具備成熟的拋光工藝和產(chǎn)品,有完善的氧化鋁陶瓷拋光方案。  客戶的氧化鋁陶瓷片,要求做鏡面加工。拋光氧化鋁陶瓷都是采用鐵盤開粗,然后用白布拋光,但是這種效率非常慢,白布拋光要耗費(fèi)30-40分鐘后才能達(dá)到鏡面,效率太低是批量加工無法接受的。吉致電子CMP拋光液和拋光墊結(jié)合,可以快速磨拋氧化鋁
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