拋光墊是化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)系統(tǒng)的重要組成部分。它具有貯存拋光液,并把它均勻運(yùn)送到工件的整個(gè)加區(qū)域等作用。

拋光墊的性能主要由拋光墊的材料種類(lèi)、材料性能、表面結(jié)構(gòu)與狀態(tài)以及修整參數(shù)等決定。拋光墊的剪切模量或增大拋光墊的可壓縮性,CMP過(guò)程材料去除率增大;采用表面合理開(kāi)槽的拋光墊,可提高材料去除率,降低晶片表面的不均勻性;拋光墊粗糙的表面有利于提高材料去除率。對(duì)拋光墊進(jìn)行適當(dāng)?shù)男拚梢栽黾訏伖鈮|表面粗糙度、使材料去除率趨于一致。與離線修整相比較,在線修整時(shí)修整效果比較好。

在CMP中,拋光墊具有以下功能:

(1)能貯存拋光液,并把它運(yùn)送到工件的整個(gè)加工區(qū)域,使拋光均勻;

(2)從工件拋光表面除去拋光過(guò)程產(chǎn)生的殘留物質(zhì)(如拋光碎屑、拋光墊碎片等);

(3)傳遞材料去除所需的機(jī)械載荷;

(4)維持拋光過(guò)程所需的機(jī)械和化學(xué)環(huán)境。拋光墊性能主要由拋光墊的材料種類(lèi)、材料性能、表面結(jié)構(gòu)和狀態(tài)等決定。

用于CMP的拋光墊須具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性(耐腐蝕性)、親水性以及機(jī)械力學(xué)特性。拋光墊通?？煞譃橛操|(zhì)和軟質(zhì)(彈性、粘彈性)兩種。

硬質(zhì)拋光墊可較好地保證工件表面的平面度

軟質(zhì)拋光墊可獲得加工變質(zhì)層和表面粗糙度都很小的拋光表面

用于CMP過(guò)程的硬質(zhì)拋光墊有各種粗布?jí)|、纖維織物墊、聚乙烯墊等,軟質(zhì)拋光墊主要有聚氨酯墊、細(xì)毛氈墊、各種絨毛布?jí)|等。

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拋光墊種類(lèi)：阻尼布拋光墊，聚氨酯拋光墊，白磨皮拋光墊

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拋光液種類(lèi)：氧化硅拋光液，氧化鋁拋光液，鉆石拋光液

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