隨著科技的發(fā)展和迭代，3C科技產(chǎn)品對玻璃面板的要求越來越高，需要硬度更高且不容易劃傷的玻璃，因此藍寶石材質(zhì)的應用和需求越來越廣泛，如手機藍寶石屏幕、藍寶石攝像頭、藍寶石手表等。藍寶石的特點是硬度高，脆性大，所以拋光液加工難度也大。

  因此，很有必要研究并升級CMP拋光工藝在藍寶石窗口上的應用，選擇適用的CMP拋光液。目前國內(nèi)批量生產(chǎn)藍寶石襯底的技術(shù)還不成熟，切割出來的藍寶石晶片有很深的加工痕跡，拋光后容易形成麻點或劃痕。在藍寶石襯底的生產(chǎn)中，裂紋和崩邊的情況比較高，占總數(shù)的5%-8%。拋光過程中影響拋光質(zhì)量的因素很多，如拋光液的成分和PH值、壓力、溫度、流量、轉(zhuǎn)速、拋光墊的質(zhì)量等。

  藍寶石拋光對拋光液的材質(zhì)要求很高。太軟的磨料會導致拋光時間過長，拋光效果不理想。目前適用于藍寶石拋光液主要選擇鉆石拋光液。鉆石拋光液以人造金剛石為磨料，硬度高、韌性好，配合藍寶石拋光墊一起使用減薄速率快，切削力好。想要達到鏡面效果，可以使用氧化硅拋光液和精拋墊進行深入加工，達到精拋的效果。

  吉致電子科技有限公司25年拋光液廠家，有豐富的拋光液拋磨案例，專業(yè)研發(fā)CMP化拋液，可為您提供優(yōu)質(zhì)藍寶石拋光方案和產(chǎn)品。

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