您好,歡迎來(lái)到吉致電子科技有限公司官網(wǎng)!
收藏本站|在線留言|網(wǎng)站地圖

吉致電子拋光材料 源頭廠家
25年 專注CMP拋光材料研發(fā)與生產(chǎn)

訂購(gòu)熱線:17706168670
熱門(mén)搜索: 硅晶圓slurry拋光液氧化硅拋光液集成電路拋光液CMP化學(xué)機(jī)械拋光液slurry化學(xué)機(jī)械拋光液
福吉電子采用精密技術(shù),提供超高質(zhì)量產(chǎn)品
當(dāng)前位置:首頁(yè) » 全站搜索 » 搜索:cmp拋光
[行業(yè)資訊]金剛石研磨液在CMP工藝中的應(yīng)用與優(yōu)勢(shì)[ 2025-04-01 15:37 ]
化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)是半導(dǎo)體、光學(xué)玻璃、陶瓷、硬質(zhì)合金及精密制造行業(yè)的關(guān)鍵工藝,用于實(shí)現(xiàn)材料表面的超精密平坦化。針對(duì)藍(lán)寶石、碳化硅(SiC)、硬質(zhì)合金等高硬度材料的加工需求,傳統(tǒng)研磨液難以滿足高精度、低損傷的要求,因此CMP拋光液、CMP拋光墊是滿足高精度工件平坦化的重要耗材。其中金剛石研磨液憑借其超硬特性和穩(wěn)定可控性,通過(guò)精準(zhǔn)調(diào)控化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同效應(yīng)(Chemo-Mechanical Synergy)實(shí)現(xiàn)實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)表面。1. 金剛石CMP研
http://jeffvon.com/Article/jgsymyzcmp_1.html3星
[吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子:半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry解析[ 2025-03-26 16:10 ]
在半導(dǎo)體制造工藝中,化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是實(shí)現(xiàn)晶圓表面全局平坦化的核心步驟,而拋光液(Slurry)的性能直接影響芯片的良率和可靠性。隨著制程節(jié)點(diǎn)不斷微縮至5nm、3nm甚至更先進(jìn)工藝,對(duì)CMP拋光液的化學(xué)穩(wěn)定性、材料選擇性和缺陷控制提出了更高要求。作為CMP材料解決方案提供商,吉致電子持續(xù)優(yōu)化拋光液技術(shù),助力客戶突破先進(jìn)制程瓶頸。1. 基本組成與功能CMP拋光液由磨料顆粒、化學(xué)添加劑和超純水組成,通過(guò)化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同作用實(shí)現(xiàn)晶圓表面納米級(jí)平坦化。磨料顆粒:SiO?(二氧化硅):廣泛用于氧化物拋光,具有高
http://jeffvon.com/Article/jzdzbdtcmp_1.html3星
[行業(yè)資訊]半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry:精密制造的核心材料[ 2025-03-19 10:48 ]
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry是一種不可或缺的關(guān)鍵材料,廣泛應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械拋光CMP工藝中。它通過(guò)獨(dú)特的機(jī)械研磨與化學(xué)反應(yīng)相結(jié)合的方式,幫助實(shí)現(xiàn)晶圓表面的納米級(jí)平坦化,為高性能半導(dǎo)體器件的制造提供了重要保障。什么是半導(dǎo)體CMP拋光液Slurry? 半導(dǎo)體Slurry是一種由研磨顆粒、化學(xué)添加劑和液體介質(zhì)組成的精密材料。在CMP工藝中
http://jeffvon.com/Article/bdtcmppgys_1.html3星
[行業(yè)資訊]CMP拋光液:從第一代到第三代半導(dǎo)體材料的精密拋光利器[ 2025-03-14 15:21 ]
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展,化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝在集成電路制造中的地位愈發(fā)重要。CMP拋光液作為這一工藝的核心材料,不僅廣泛應(yīng)用于傳統(tǒng)的第一代和第二代半導(dǎo)體材料,如硅(Si)和砷化鎵(GaAs),更在第三代半導(dǎo)體材料的拋光中展現(xiàn)出巨大的潛力。CMP拋光液在第三代半導(dǎo)體材料中的應(yīng)用第三代半導(dǎo)體材料以碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、氧化鋅(ZnO)、金剛石和氮化鋁(AlN)為代表,具有寬禁帶、高導(dǎo)熱率、抗輻射能力強(qiáng)、電子飽和漂移速率大等優(yōu)異特性。這些材料在高溫、高頻、大功率電子器件中表現(xiàn)突出,成為5G基站、新能
http://jeffvon.com/Article/cmppgycdyd_1.html3星
[吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子解析:磷化銦襯底怎么拋光研磨[ 2025-03-07 15:22 ]
磷化銦(InP)作為Ⅲ-Ⅴ族化合物半導(dǎo)體的典型代表,憑借其高電子遷移率、寬禁帶寬度和良好的光電性能,在光通信器件、激光器和探測(cè)器等領(lǐng)域占據(jù)關(guān)鍵地位。其精密加工要求嚴(yán)苛,尤其是表面粗糙度需達(dá)到納米級(jí)(Ra < 0.1nm),傳統(tǒng)機(jī)械研磨易導(dǎo)致晶格損傷,化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)則成為實(shí)現(xiàn)原子級(jí)平整表面的核心工藝。吉致電子將系統(tǒng)介紹InP磷化銦襯底CMP拋光從粗磨到精拋的流程及控制要點(diǎn)。一、Inp磷化銦拋光準(zhǔn)備工作材料:準(zhǔn)備好磷化銦工件,確保其表面無(wú)明顯損傷、雜質(zhì)。同時(shí)準(zhǔn)備吉致電子CMP研磨墊,如聚氨酯拋光墊,其
http://jeffvon.com/Article/article-32261603051_1.html3星
[常見(jiàn)問(wèn)題]半導(dǎo)體銅CMP拋光液:銅互連工藝的核心材料[ 2025-02-25 14:44 ]
半導(dǎo)體銅化學(xué)機(jī)械拋光液(Copper CMP Slurry)是用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中銅互連層化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)的關(guān)鍵材料。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,銅CU因其低電阻率和高抗電遷移性能,取代鋁成為主流互連材料。銅CMP拋光液在銅互連工藝中起到至關(guān)重要的作用,確保銅層平整化并實(shí)現(xiàn)多層互連結(jié)構(gòu),CU CMP Slurry通過(guò)化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的結(jié)合,實(shí)現(xiàn)銅層的高精度平整化和表面質(zhì)量控制。。 一、Copper CMP Slurry銅CMP拋光液的組成:主要磨料顆粒(Abrasive Particles)有二氧化硅(
http://jeffvon.com/Article/bdttcmppgy_1.html3星
[行業(yè)資訊]突破技術(shù)壁壘:國(guó)產(chǎn)拋光墊替代Suba800的崛起之路[ 2025-02-14 16:02 ]
國(guó)產(chǎn)替代Suba800拋光墊(CMP Pad)的產(chǎn)品在近年來(lái)取得了顯著的技術(shù)進(jìn)步,逐漸在半導(dǎo)體集成電路市場(chǎng)上占據(jù)一席之地。以下是Suba拋光墊國(guó)產(chǎn)替代產(chǎn)品的優(yōu)勢(shì)和特點(diǎn):一、Suba拋光墊國(guó)產(chǎn)替代產(chǎn)品的優(yōu)勢(shì)1.成本優(yōu)勢(shì)?國(guó)產(chǎn)CMP拋光墊的價(jià)格通常比進(jìn)口產(chǎn)品低,能夠顯著降低生產(chǎn)成本,尤其適合對(duì)成本敏感的企業(yè)。?減少了進(jìn)口關(guān)稅和物流費(fèi)用,進(jìn)一步降低了采購(gòu)成本。2.供應(yīng)鏈穩(wěn)定?國(guó)產(chǎn)化生產(chǎn)避免了國(guó)際供應(yīng)鏈的不確定性(如貿(mào)易摩擦、物流延遲等),供貨周期更短,響應(yīng)速度更快。?國(guó)內(nèi)廠商通常能提供更靈活的CMP拋光耗材訂單服務(wù),支持
http://jeffvon.com/Article/tpjsblgcpg_1.html3星
[行業(yè)資訊]CMP拋光液:精密光學(xué)鏡頭制造的幕后英雄[ 2025-02-12 16:24 ]
CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)技術(shù)在光學(xué)制造領(lǐng)域確實(shí)扮演著至關(guān)重要的角色,尤其是在高精度光學(xué)元件的加工中。CMP拋光液通過(guò)化學(xué)腐蝕和機(jī)械研磨的結(jié)合,能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)玻璃表面的超平滑處理,滿足現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)對(duì)表面粗糙度和形狀精度的嚴(yán)苛要求。 吉致電子光學(xué)玻璃CMP Slurry的應(yīng)用領(lǐng)域:①精密光學(xué)鏡頭:在手機(jī)攝像頭、顯微鏡、望遠(yuǎn)鏡等光學(xué)系統(tǒng)中,通過(guò)CMP工藝和拋光液的拋磨可使光學(xué)鏡頭元件在光線折射與散射方面得到有效優(yōu)化,成像質(zhì)量大幅提升。確保了鏡頭的高分辨率和成像質(zhì)量。②航空航天光學(xué)窗口:航空航天光學(xué)窗口面臨復(fù)雜空間環(huán)
http://jeffvon.com/Article/cmppgyjmgx_1.html3星
[常見(jiàn)問(wèn)題]影響碳化硅襯底質(zhì)量的重要工藝參數(shù)有哪些[ 2025-01-31 17:33 ]
碳化硅襯底提高加工速率和良品率的主要因素除了用對(duì)拋光液和拋光墊,在CMP拋光研磨過(guò)程的工藝參數(shù)也很重要:拋光壓力:適當(dāng)增加壓力可以提高拋光效率,但過(guò)高的壓力可能導(dǎo)致襯底表面產(chǎn)生劃痕、損傷甚至破裂。一般根據(jù)襯底的厚度、硬度以及拋光設(shè)備的性能,壓力范圍在幾十千帕到幾百千帕之間。拋光轉(zhuǎn)速:包括襯底承載臺(tái)的轉(zhuǎn)速和拋光墊的轉(zhuǎn)速。轉(zhuǎn)速影響拋光液在襯底和拋光墊之間的流動(dòng)狀態(tài)以及磨料的磨削作用。較高的轉(zhuǎn)速可以加快拋光速度,但也可能使拋光液分布不均勻,導(dǎo)致表面質(zhì)量下降。轉(zhuǎn)速通常在每分鐘幾十轉(zhuǎn)到幾百轉(zhuǎn)之間調(diào)整。拋光時(shí)間:由襯底需要去除
http://jeffvon.com/Article/yxthgcdzld_1.html3星
[行業(yè)資訊]碳化硅襯底CMP工藝面臨的挑戰(zhàn)與解決方案[ 2025-01-23 17:18 ]
SiC CMP拋光液是一種用于對(duì)碳化硅襯底進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光的關(guān)鍵材料,通過(guò)化學(xué)腐蝕和機(jī)械磨損的協(xié)同作用,實(shí)現(xiàn)碳化硅襯底表面材料的去除及平坦化,從而提高晶圓襯底的表面質(zhì)量,達(dá)到超光滑、無(wú)缺陷損傷的狀態(tài),滿足外延應(yīng)用等對(duì)襯底表面質(zhì)量的嚴(yán)苛要求。目前碳化硅襯底CMP工藝面臨的挑戰(zhàn)與解決方案:①碳化硅硬度高:碳化硅硬度僅次于金剛石,這使得其拋光難度較大。需要研發(fā)更高效的磨料和優(yōu)化拋光液配方,以提高對(duì)碳化硅的去除速率。例如,采用高硬度、高活性的磨料,并優(yōu)化磨料的粒徑分布和形狀,同時(shí)調(diào)整化學(xué)試劑的種類和濃度,增強(qiáng)
http://jeffvon.com/Article/thgcdcmpgy_1.html3星
[吉致動(dòng)態(tài)]碳化硅襯底CMP工藝流程[ 2025-01-21 16:52 ]
碳化硅襯底CMP工藝流程如下:準(zhǔn)備工作:對(duì)碳化硅SiC襯底進(jìn)行清洗和預(yù)處理,去除表面的灰塵、油污等雜質(zhì),保證襯底表面潔凈。同時(shí),檢查CMP拋光設(shè)備是否正常運(yùn)行,調(diào)整好吉致電子碳化硅專用拋光墊的平整度和壓力等參數(shù)。拋光液涂覆:通過(guò)自動(dòng)供液系統(tǒng),按照一定的流量和頻率進(jìn)行參數(shù)調(diào)整,確保拋光液在拋光過(guò)程中始終充足且均勻分布。CMP拋光過(guò)程:將SiC襯底固定在拋光機(jī)的承載臺(tái)/無(wú)蠟吸附墊,使其與涵養(yǎng)拋光液的拋光墊接觸。拋光機(jī)帶動(dòng)襯底和拋光墊做相對(duì)運(yùn)動(dòng),在一定的壓力和轉(zhuǎn)速下,拋光液中的磨料對(duì)碳化硅襯底表面進(jìn)行機(jī)械磨削,同時(shí)拋光液
http://jeffvon.com/Article/thgcdcmpgy_1.html3星
[吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子--Apple Logo 無(wú)蠟吸附墊[ 2025-01-15 16:46 ]
無(wú)蠟吸附墊蘋(píng)果logo研磨拋光墊是一種專為Apple logo研磨拋光設(shè)計(jì)的工具,其無(wú)蠟構(gòu)造確保了高效穩(wěn)定、無(wú)殘留的CMP拋光效果,使用方便降低logo工件損耗率。吉致電子無(wú)蠟吸附墊Template主要特點(diǎn)無(wú)蠟構(gòu)造:采用無(wú)蠟材料,有效降低拋光過(guò)程中殘留物的產(chǎn)生,從而提升拋光品質(zhì)。高精度研磨:能夠?qū)崿F(xiàn)精準(zhǔn)的研磨和拋光作業(yè),確保蘋(píng)果logo的細(xì)節(jié)和清晰度得到完美呈現(xiàn)。卓越耐磨性:選用高品質(zhì)材料,耐磨性強(qiáng),顯著延長(zhǎng)了產(chǎn)品的使用壽命。環(huán)保安全:無(wú)蠟設(shè)計(jì)減少了對(duì)環(huán)境和操作人員的潛在影響。logo專用無(wú)蠟吸附墊應(yīng)用范圍logo
http://jeffvon.com/Article/jzdzapplel_1.html3星
[常見(jiàn)問(wèn)題]CMP拋光墊在化學(xué)機(jī)械平面研磨中的作用和效果[ 2025-01-11 10:25 ]
CMP拋光墊在化學(xué)機(jī)械平面研磨中的作用和效果通過(guò)調(diào)整拋光墊的密度和硬度,可以根據(jù)目標(biāo)值(如鏡面光潔度、精度等)進(jìn)行優(yōu)化,確保工件表面達(dá)到鏡面光潔度,同時(shí)與研磨相比,損傷降至最低。在CMP過(guò)程中,拋光墊主要發(fā)揮以下作用:1. 均勻施加壓力:由于拋光墊通常由柔性材料制成,并具有一定的彈性,它能夠在壓力施加時(shí)均勻變形,確保材料的去除速率在整個(gè)晶圓表面上保持一致,避免局部去除過(guò)度或不足。2. 散熱:CMP過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量熱量,拋光墊通常由具有良好導(dǎo)熱性能的材料制成,例如聚氨酯等,能夠快速傳導(dǎo)熱量,防止局部過(guò)熱,從而保護(hù)晶圓
http://jeffvon.com/Article/cmppgdzhxj_1.html3星
[常見(jiàn)問(wèn)題]半導(dǎo)體晶圓拋光墊的類型有哪些[ 2025-01-10 14:59 ]
一、CMP拋光墊概述CMP拋光墊是半導(dǎo)體晶圓制造中不可或缺的工具之一,主要用于半導(dǎo)體晶圓的拋光和平整處理。這些拋光墊CMP Pad采用優(yōu)質(zhì)材料制作,展現(xiàn)出卓越的耐磨性和平坦度,確保晶圓在拋光過(guò)程中得到妥善保護(hù),不受損害。根據(jù)不同的材質(zhì)和硬度需求,拋光墊可分為多種類型。二、各種自粘式CMP拋光墊的種類和特點(diǎn)1. 聚氨酯(PU)拋光墊聚氨酯(PU)拋光墊是拋光墊中的一種常見(jiàn)類型,其硬度較低,展現(xiàn)出良好的柔軟性和彈性,特別適用于需要柔軟拋光墊的場(chǎng)合。它的拋光效果出色,使用壽命較長(zhǎng),但價(jià)格相對(duì)較高。2. 聚酯(PET)拋光
http://jeffvon.com/Article/bdtjypgddl_1.html3星
[行業(yè)資訊]吉致電子SiC碳化硅研磨墊國(guó)產(chǎn)替代[ 2024-12-31 14:03 ]
  在碳化硅拋光墊/研磨墊(SiC CMP Pad)市場(chǎng)中,高端領(lǐng)域呈現(xiàn)出寡頭壟斷的格局。其中,杜邦Suba800系列產(chǎn)品被廣泛采用,同時(shí)也有部分客戶選擇杜邦的Suba600和Suba400系列,以及Supreme Series和Politex系列等產(chǎn)品。此外,日本廠商Fujibo也在市場(chǎng)中扮演著關(guān)鍵角色,其主打產(chǎn)品包括G804W、728NX和FPK66等型號(hào)。  在競(jìng)爭(zhēng)激烈的半導(dǎo)體集成電路市場(chǎng)中,除了上述提到的幾款CMP拋光墊產(chǎn)品外,國(guó)內(nèi)一些新興企業(yè)也在不斷研發(fā)創(chuàng)新,試圖打破現(xiàn)有的市場(chǎng)格局,為
http://jeffvon.com/Article/jzdzsicthg_1.html3星
[吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子CMP Pad化學(xué)機(jī)械拋光墊[ 2024-12-27 18:27 ]
吉致電子專注研發(fā)、設(shè)計(jì)、測(cè)試與生產(chǎn)制造CMP耗材,CMP PAD化學(xué)機(jī)械拋光墊用于半導(dǎo)體制造、平面顯示器、光學(xué)玻璃、各類晶圓襯底材料、高精密陶瓷件、金屬與硬盤(pán)基板的研磨拋光工藝。吉致電子CMP拋光墊采用精密涂布技術(shù)和科技材料能有效提升客戶制程中的移除率和高平坦度、低缺陷等要求。吉致拋光墊團(tuán)隊(duì)從事高分子材料合成、發(fā)泡技術(shù)與復(fù)合材料研制已有多年經(jīng)驗(yàn),積累深厚的材料制造和研發(fā)基礎(chǔ).拋光墊產(chǎn)品因其特殊纖維材質(zhì),耐用、耐磨、耐酸堿,價(jià)比高。PAD產(chǎn)品包括且不限于:聚氨酯拋光墊、阻尼布精拋墊、復(fù)合拋光墊、絨面拋光墊、無(wú)紡布拋光
http://jeffvon.com/Article/jzdzcmppad_1.html3星
[吉致資訊]吉致電子CMP精拋墊的作用有哪些[ 2024-12-17 15:37 ]
吉致電子CMP精拋墊的作用有哪些?化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)是目前國(guó)際上公認(rèn)的唯一能夠?qū)崿F(xiàn)全局平坦化的技術(shù),在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域中占據(jù)著舉足輕重的地位。CMP精拋墊,作為CMP化學(xué)機(jī)械平面研磨(Chemical Mechanical Polishing)精拋階段所使用的拋光墊,是半導(dǎo)體制造過(guò)程中不可或缺的關(guān)鍵耗材。吉致電子CMP拋光墊--精拋墊的功能特點(diǎn)將通過(guò)以下四個(gè)方面進(jìn)行闡述:  CMP精拋墊在CMP工藝流程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,其主要功能涵蓋:1.確保拋光液能夠高效且均勻
http://jeffvon.com/Article/jzdzcmpjpd_1.html3星
[吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子CMP拋光液在光學(xué)玻璃加工中的應(yīng)用進(jìn)展[ 2024-12-11 16:17 ]
  CMP拋光液在光學(xué)玻璃領(lǐng)域的應(yīng)用主要體現(xiàn)在實(shí)現(xiàn)光學(xué)玻璃表面的超精密加工,以滿足對(duì)表面粗糙度和平坦度的高要求。CMP拋光液通過(guò)化學(xué)作用和機(jī)械研磨的有機(jī)結(jié)合,能夠有效地去除光學(xué)玻璃表面的材料,達(dá)到高度平坦化、低表面粗糙度和低缺陷的效果。隨著光學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)光學(xué)玻璃表面質(zhì)量的要求也越來(lái)越高。CMP拋光液/研磨液作為一種先進(jìn)的拋光材料,在光學(xué)玻璃領(lǐng)域的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。   在CMP拋光過(guò)程中,拋光液中的化學(xué)成分與光學(xué)玻璃表面發(fā)生反應(yīng)形成軟質(zhì)層。同時(shí),拋光液中的磨料微粒,如納米二氧化硅
http://jeffvon.com/Article/jzdzcmppgy_1.html3星
[吉致動(dòng)態(tài)]半導(dǎo)體拋光墊---吉致電子Suba pad替代[ 2024-12-10 15:14 ]
 在半導(dǎo)體硅片、襯底、光學(xué)玻璃以及精密陶瓷等材料的加工領(lǐng)域,CMP拋光工藝是至關(guān)重要的環(huán)節(jié),而CMP拋光墊(CMP Pad)則是這一環(huán)節(jié)中的關(guān)鍵因素之一。其中,由陶氏公司(Dow)生產(chǎn)的SUBA拋光墊(Suba Pad)備受矚目。   陶氏公司生產(chǎn)的SUBA拋光墊在CMP化學(xué)機(jī)械研磨方面有著優(yōu)異的拋光性能,尤其在拋光半導(dǎo)體晶圓方面效果顯著。半導(dǎo)體晶圓和襯底是現(xiàn)代集成電路產(chǎn)業(yè)的基石,晶圓和襯底表面的平坦度、光潔度等直接影響芯片的性能和質(zhì)量。SUBA拋光墊憑借其獨(dú)特的材料和結(jié)構(gòu),能夠使拋光過(guò)程達(dá)到一
http://jeffvon.com/Article/bdtpgdjzdz_1.html3星
[吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子--磷化銦拋光液在半導(dǎo)體CMP制程中的應(yīng)用[ 2024-12-05 16:20 ]
無(wú)錫吉致電子科技提供的磷化銦襯底拋光液是一種專門(mén)用于半導(dǎo)體材料磷化銦表面處理的CMP化學(xué)機(jī)械拋光漿料。它包含特定的磨料和化學(xué)成分,能夠有效去除磷化銦表面的微小缺陷和不平整,確保獲得光滑、無(wú)損傷的表面。磷化銦拋光液在半導(dǎo)體制造過(guò)程中非常重要,它直接影響到最終器件的性能和穩(wěn)定性。磷化銦襯底拋光液的選擇和使用是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程,需要綜合考慮多個(gè)因素,且在CMP拋磨使用時(shí),需要根據(jù)磷化銦襯底的具體要求和拋光設(shè)備的特性來(lái)選擇合適的InP拋光液,并嚴(yán)格控制拋光過(guò)程中的參數(shù),如溫度、壓力和拋光時(shí)間等。首先,磷化銦CMP拋光液的成分
http://jeffvon.com/Article/jzdzlhypgy_1.html3星
記錄總數(shù):0 | 頁(yè)數(shù):0